I metalli e le leghe di tungsteno refrattari presentano i vantaggi della stabilità alle alte temperature, dell'elevata resistenza alla migrazione degli elettroni e dell'elevato coefficiente di emissione di elettroni. I target in tungsteno e leghe di tungsteno di elevata purezza vengono utilizzati principalmente per fabbricare elettrodi di gate, cablaggi di collegamento, strati di barriera alla diffusione di circuiti integrati a semiconduttori. Hanno requisiti molto elevati in termini di purezza, contenuto di impurità, densità, dimensione dei grani e struttura uniforme dei grani dei materiali. Diamo un'occhiata ai fattori che influenzano la preparazione del bersaglio di tungsteno ad elevata purezzaby Rich Materiale Speciale Co.,Ltd.
I. Effetto della temperatura di sinterizzazione
Il processo di formazione dell'embrione bersaglio di tungsteno viene solitamente effettuato mediante pressione isostatica fredda. Il grano di tungsteno crescerà durante la sinterizzazione. La crescita del grano di tungsteno riempirà lo spazio tra i confini del cristallo, aumentando così la densità del bersaglio di tungsteno. Con l'aumento dei tempi di sinterizzazione, l'aumento della densità del target di tungsteno rallenta gradualmente. Il motivo principale è che la qualità del materiale target in tungsteno non è cambiata molto dopo diversi processi di sinterizzazione. Poiché la maggior parte dei vuoti nel confine del cristallo sono riempiti da cristalli di tungsteno, il tasso di variazione delle dimensioni complessive del target di tungsteno è molto piccolo dopo ogni processo di sinterizzazione, il che si traduce in uno spazio limitato per l'aumento della densità del target di tungsteno. Man mano che la sinterizzazione procede, i vuoti vengono riempiti da grani di tungsteno di grandi dimensioni, ottenendo un bersaglio più denso e di dimensioni più piccole.
2. Effetto dihmangiare tempo di conservazione
Alla stessa temperatura di sinterizzazione, la compattezza del materiale target in tungsteno migliora con l'aumento del tempo di sinterizzazione. Con l'aumento del tempo di sinterizzazione, la dimensione del grano di tungsteno aumenta e con l'estensione del tempo di sinterizzazione, il fattore di crescita della dimensione del grano rallenta gradualmente. Ciò dimostra che l'aumento del tempo di sinterizzazione può anche migliorare le prestazioni del target di tungsteno.
3. Effetto del rotolamento sul bersaglio Pprestazione
Al fine di migliorare la densità dei materiali target di tungsteno e ottenere la struttura di lavorazione dei materiali target di tungsteno, la laminazione a temperatura media dei materiali target di tungsteno deve essere eseguita al di sotto della temperatura di ricristallizzazione. Quando la temperatura di laminazione del target grezzo è elevata, la struttura fibrosa del target grezzo è più spessa, mentre quella del target grezzo è più fine. Quando la resa della laminazione a caldo è superiore al 95%. Anche se la differenza nella struttura delle fibre causata dalla diversa grana originale di sinterizzazione o dalla temperatura di laminazione verrà eliminata, all'interno del target si formerà una struttura delle fibre più omogenea, quindi maggiore è la velocità di lavorazione della laminazione a caldo, migliori saranno le prestazioni del target.
Orario di pubblicazione: 05-maggio-2022