I materiali target del niobio vengono utilizzati principalmente nel rivestimento ottico, nel rivestimento dei materiali per l'ingegneria delle superfici e nelle industrie di rivestimento come resistenza al calore, resistenza alla corrosione e alta conduttività. Nel campo del rivestimento ottico, viene applicato principalmente a prodotti ottici oftalmici, lenti, ottica di precisione, rivestimento su vasta area, rivestimento 3D e altri aspetti.
Il materiale target del niobio è solitamente chiamato target nudo. Viene prima saldato al target posteriore in rame e quindi sottoposto a polverizzazione catodica per depositare atomi di niobio sotto forma di ossidi sul materiale del substrato, ottenendo un rivestimento a polverizzazione catodica. Con il continuo approfondimento ed espansione della tecnologia e dell'applicazione del target del niobio, i requisiti per l'uniformità della microstruttura del target del niobio sono aumentati, manifestandosi principalmente in tre aspetti: affinamento della dimensione del grano, nessun orientamento evidente della struttura e migliore purezza chimica.
La distribuzione uniforme della microstruttura e delle proprietà in tutto il target è fondamentale per garantire le prestazioni di sputtering dei materiali target del niobio. La superficie dei target di niobio incontrati nella produzione industriale solitamente presenta schemi regolari, che influenzano notevolmente le prestazioni di sputtering dei target. Come possiamo migliorare il tasso di utilizzo degli obiettivi?
Attraverso la ricerca, si è scoperto che il contenuto di impurità (purezza target) è un fattore importante che influenza la purezza. La composizione chimica delle materie prime non è uniforme e le impurità sono arricchite. Dopo la successiva lavorazione di laminazione, si formano motivi regolari sulla superficie del materiale bersaglio di niobio; L'eliminazione della distribuzione irregolare dei componenti delle materie prime e dell'arricchimento delle impurità può evitare la formazione di modelli regolari sulla superficie dei target del niobio. L'influenza della dimensione dei grani e della composizione strutturale sul materiale target può essere quasi trascurabile.
Orario di pubblicazione: 19 giugno 2023