Le crepe nei bersagli di sputtering si verificano solitamente nei bersagli di sputtering ceramici come ossidi, carburi, nitruri e materiali fragili come cromo, antimonio e bismuto. Ora lasciamo che gli esperti tecnici di RSM spieghino perché il bersaglio sputtering si rompe e quali misure preventive si possono adottare per evitare questa situazione.
I target in ceramica o in materiale fragile contengono sempre stress intrinseci. Queste tensioni interne vengono generate nel processo di produzione target. Inoltre, queste tensioni non vengono completamente eliminate dal processo di ricottura, perché sono caratteristiche intrinseche di questi materiali. Nel processo di sputtering, il bombardamento degli ioni del gas trasferisce la loro quantità di moto agli atomi bersaglio, fornendo loro energia sufficiente per separarli dal reticolo. Questo trasferimento di quantità di moto esotermico fa aumentare la temperatura target, che può raggiungere 1.000.000 ℃ a livello atomico.
Questi shock termici aumentano di molte volte lo stress interno esistente nel bersaglio. In questo caso, se il calore non viene dissipato adeguatamente, il bersaglio potrebbe rompersi. Per evitare che il bersaglio si rompa, è necessario enfatizzare la dissipazione del calore. È necessario un meccanismo di raffreddamento ad acqua per rimuovere l'energia termica indesiderata dal bersaglio. Un’altra questione da considerare è l’aumento di potenza. Troppa potenza applicata in breve tempo causerà anche uno shock termico al bersaglio. Inoltre, suggeriamo di collegare questi target al backplane, che non solo può fornire supporto per il target, ma anche promuovere un migliore scambio termico tra il target e l'acqua. Se il bersaglio presenta crepe ma è incollato alla piastra posteriore, può comunque essere utilizzato.
Rich Special Materials Co., Ltd. può fornire obiettivi di sputtering con backplane. Può essere personalizzato in base alle esigenze del cliente in termini di materiale, spessore e tipo di legame.
Orario di pubblicazione: 21 settembre 2022