Al fine di supportare l'industria dei sensori MEMS piezoelettrici (pMEMS) basati su pellicola e dei componenti dei filtri a radiofrequenza (RF), la lega di alluminio e scandio prodotta da Rich Special Material Co., Ltd. viene utilizzata appositamente per la deposizione reattiva di pellicole di nitruro di alluminio drogate con scandio. .
I materiali piezoelettrici a film sottile sono sempre più utilizzati nelle apparecchiature elettroniche automobilistiche, industriali e personali. Le applicazioni includono sensori di impronte digitali basati su PMT e dispositivi di riconoscimento dei gesti, microfoni MEMS, sensori chimici basati su risonatore e sensori medici. Inoltre, le pellicole di nitruro di alluminio drogato con scandio sono sempre più necessarie per realizzare filtri RF per applicazioni di rete 5G. Allo stesso tempo, la quantità di lega di alluminio e scandio è in aumento.
Proprietà della lega Al Sc
Omogeneità chimica altamente coerente in tutta la lega
Omogeneità chimica della pellicola estremamente costante per tutta la vita del truciolo e della lega
Purezza>99,9%, basso contenuto di ossigeno, basso contenuto di inquinanti critici
Controllare rigorosamente la microstruttura per ottenere le migliori prestazioni di sputtering
Lega completamente densa, colata sotto vuoto, con bassa adesione, bassa variabilità e bassa granularità
Rich Special Material Co., Ltd. supporta una varietà di fusioni di leghe, personalizzazione del target e servizi di ricerca e sviluppo.
Orario di pubblicazione: 11 novembre 2022