Hver eru sputtering markmiðin? Hvers vegna er markmiðið svona mikilvægt?

Hálfleiðaraiðnaðurinn sér oft hugtak fyrir markefni, sem má skipta í oblátaefni og umbúðaefni. Pökkunarefni hafa tiltölulega litlar tæknilegar hindranir samanborið við efni til að framleiða oblátur. Framleiðsluferlið á oblátum felur aðallega í sér 7 tegundir af hálfleiðaraefnum og efnum, þar á meðal ein tegund af sputtering target efni. Svo hvað er markefnið? Af hverju er markefnið svona mikilvægt? Í dag munum við tala um hvað markefnið er!

Hvert er markefnið?

Einfaldlega sagt, markefnið er markefnið sem sprengt er af háhraða hlaðnum ögnum. Með því að skipta um mismunandi markefni (eins og ál, kopar, ryðfríu stáli, títan, nikkel skotmörk o.s.frv.), er hægt að fá mismunandi filmukerfi (eins og ofurharðar, slitþolnar, ryðvarnar álfilmur osfrv.)

Sem stendur er hægt að skipta (hreinleika) sputtering markefni í:

1) Málmmörk (hreint málmál, títan, kopar, tantal osfrv.)

2) Málblöndur (nikkel króm ál, nikkel kóbalt ál, osfrv.)

3) Keramikefnasambönd (oxíð, kísilefni, karbíð, súlfíð osfrv.).

Samkvæmt mismunandi rofum er hægt að skipta því í: langt skotmark, ferhyrnt skotmark og hringlaga skotmark.

Samkvæmt mismunandi notkunarsviðum er hægt að skipta því í: hálfleiðara flísamarkmið, flatskjásmarkmið, sólarsellumarkmið, upplýsingageymslumarkmið, breytt markmið, rafeindatækjamarkmið og önnur skotmörk.

Með því að skoða þetta ættir þú að hafa öðlast skilning á háhreinum sputtering skotmörk, sem og áli, títan, kopar og tantal sem notað er í málm skotmörk. Við framleiðslu á hálfleiðara skífu er álferlið venjulega aðalaðferðin til að framleiða 200 mm (8 tommur) og neðar, og markefnin sem notuð eru eru aðallega ál- og títanefni. 300 mm (12 tommu) oblátaframleiðsla, aðallega með háþróaðri kopartengingartækni, aðallega með kopar- og tantalmarkmiðum.

Allir ættu að skilja hvert markefnið er. Á heildina litið, með auknu úrvali flísaforrita og vaxandi eftirspurn á flísamarkaði, mun örugglega aukast eftirspurn eftir fjórum almennum þunnfilmu málmefnum í greininni, þ.e. áli, títan, tantal og kopar. Og eins og er er engin önnur lausn sem getur komið í stað þessara fjögurra þunnu filmu málmefna.