Sputtering títan málmblöndu og títan málmur eru samsettar úr títan, þannig að upplýsingarnar eru nokkurn veginn þær sömu, en munurinn á þessu tvennu liggur aðallega í því að sputtering títan álmarkið er gert úr títan málmi á nokkra vegu og títan kemur fyrir í náttúrunni sem títan málmgrýti. Títan málmblöndur geta verið mikið notaðar í mörgum starfsflokkum, nú tók höfundur Beijing Richmat saman nokkur algeng títan álmarkmið hvað varðar notkun ástandsins til að gefa okkur nákvæma kynningu.
.
一、Ti markmið fyrir samþættar hringrásir
Kröfurnar fyrir sputtering títan málmblöndur eru mismunandi milli ósamþættra hringrása og samþættra hringrása. Almennt hafa samþættar hringrásir meiri kröfur um húðunargögn, svo sem meiri hreinleika, minni kornastærð og nákvæmari mælikvarðanákvæmni. Hreinleiki títanmarkmiða í samþættum hringrásum er meiri en 99,995%, sem er hærra en það sem notað er í ósamþættum hringrásum. hringrásir, sem gefur til kynna að mismunandi notkun títanmarkskröfur sé mjög mismunandi.
二、Ti markmið fyrir flatskjá
Títan málmblöndur sem notuð eru á flatskjái eru meðal annars fljótandi kristalskjár, plasmaskjár, rafljómunarskjár og sviðslosunarskjár. Þunn filma á flatskjá er sputtered-myndandi aðferð, Al, Cu, Ti og Mo eru aðal málmsputtering markmiðin fyrir flatskjái. skjáir. Hreinleiki títanálmarkmiða fyrir flatskjái er venjulega meiri en 99,9%.
三、Ti skotmörk fyrir skreytingarefni
Háhreint títan málmblöndur markefni hefur framúrskarandi lofttæringarþol, langtímanotkun í loftinu breytir ekki lit, til að tryggja að upprunalegi liturinn á títan og snertingu manna sé ekki með ofnæmi og önnur framúrskarandi einkenni. Þess vegna er einnig hægt að nota háhreint títan sem skreytingarefni, á undanförnum árum, svo sem armbönd, klukkur og gleraugu og önnur skraut með títanhreinleika hefur náð 5N stigi.
四、Ti markmið fyrir ofurhát lofttæmisdælukerfi
Sem efnafræðilega virkur málmur getur títan hvarfast við mörg frumefni og efnasambönd við háan hita. Títan álmarkið með mikla hreinleika hefur sterka aðsogsgetu fyrir virkar lofttegundir (eins og O2, N2, CO, CO2, vatnsgufu yfir 650°C) og Ti filman sem gufar upp á dæluveggnum getur myndað yfirborð með mikilli aðsogsvirkni . Þessi eiginleiki gerir Ti mikið notað sem getter í ofurháu lofttæmi gasútdráttarkerfi. Ef það er notað til að bæta dæluna, sputtering jón dæluna, osfrv., getur það gert fullkominn rekstrarþrýsting sputtering jón dælu allt að 10-9PA
Birtingartími: 25. apríl 2022