1、 Sputtering undirbúningur
Það er mjög mikilvægt að halda lofttæmishólfinu, sérstaklega sputtering kerfinu hreinu. Allar leifar sem myndast af smurolíu, ryki og fyrri húðun munu safna vatnsgufu og öðrum mengunarefnum, sem mun hafa bein áhrif á lofttæmisstigið og auka möguleikann á bilun í filmu. Skammhlaup eða markbogi, gróft filmuyfirborð og óhóflegt innihald efnafræðilegra óhreininda stafa oft af óhreinu sputtering hólfi, sputtering byssu og skotmarki. Til þess að fylgja samsetningareiginleikum lagsins er nauðsynlegt að þrífa og þurrka sputtering gasið (argon eða súrefni). Eftir að undirlagið er komið fyrir í sputtering hólfinu þarf að draga loftið út til að ná því lofttæmi sem ferlið krefst. Einnig þarf að halda hlífðarhlífinni á dökku svæði, holvegg og aðliggjandi yfirborði hreinu. Við þrif á lofttæmishólfinu mælum við með því að nota glerkúlusprengingu til að meðhöndla rykuga hlutana, ásamt þjappað lofti til að fjarlægja snemmbúnar sputtering leifar í kringum hólfið, og pússa síðan hljóðlega ytra yfirborðið með súrál gegndreyptum sandpappír. Eftir að grisjupappírinn hefur verið pússaður er hann hreinsaður með spritti, asetoni og afjónuðu vatni. Saman mælir það fyrir notkun iðnaðarryksugu til hjálparþrifa. Markmiðin sem framleidd eru af Gaozhan málmi eru pakkað í lofttæmdu lokaða plastpoka,
Innbyggt í rakaþolnu efni. Þegar þú notar skotmarkið skaltu ekki snerta markið beint með hendinni. Athugið: Þegar þú notar skotmarkið skaltu nota hreina og lólausa viðhaldshanska. Aldrei snerta markið beint með höndum þínum
2、 Markþrif
Tilgangur skotmarkshreinsunar er að fjarlægja ryk eða óhreinindi sem kunna að vera á yfirborði skotmarksins.
Málmmiðið er hægt að þrífa í fjórum skrefum,
Fyrsta skrefið er að þrífa með lólausum mjúkum klút vættum í asetoni;
Annað skrefið er svipað og fyrsta skrefið, hreinsun með áfengi;
Skref 3: hreinsaðu með afjónuðu vatni. Eftir þvott með afjónuðu vatni skaltu setja markið í ofninn og þurrka það við 100 ℃ í 30 mínútur.
Hreinsun oxíð- og keramikmarkmiða skal fara fram með „lólausum klút“.
Fjórða skrefið er að þvo skotmarkið með argon með háþrýstingi og lágt vatnsgas eftir að rykuga svæðið hefur verið fjarlægt, til að fjarlægja allar óhreinindi agnir sem geta myndað boga í sputtering kerfinu
3、 Miða tæki
Í uppsetningu skotmarks eru Z mikilvægar varúðarráðstafanir að tryggja góða hitaleiðnitengingu milli skotmarksins og kæliveggja sputtering byssunnar. Ef bognun kælivökvans er mikil eða skekking bakplötunnar er mikil, mun marktækið sprunga eða beygjast og hitaleiðni frá bakmarkinu að markinu verður fyrir miklum áhrifum, sem leiðir til bilunar á hitaleiðni. í sputtering ferli, og skotmarkið mun sprunga eða missa
Til að tryggja hitaleiðni er hægt að bólstra lag af grafítpappír á milli bakskautskæliveggsins og skotmarksins. Vinsamlegast athugaðu vandlega og gerðu ljóst hversu flatan kæliveggja sputtering byssunnar er til að tryggja að O-hringurinn sé alltaf á sínum stað.
Þar sem hreinleika kælivatnsins sem notað er og rykið sem getur myndast við notkun búnaðarins verður komið fyrir í bakskautskælivatnsgeyminum, er nauðsynlegt að athuga og þrífa bakskautkælivatnsgeyminn þegar miðið er sett upp til að tryggja sléttan hringrás kælivatns og að inntak og úttak verði ekki stíflað.
Á sumum bakskautum er áætlað að hafa lítið pláss með skautinu, þannig að þegar skotmarkið er sett upp þarf að tryggja að engin snerting eða leiðari sé á milli bakskautsins og rafskautsins, annars verður skammhlaup.
Sjá notendahandbók búnaðarins til að fá upplýsingar um hvernig á að stjórna skotmarkinu á réttan hátt. Ef engar slíkar upplýsingar eru í notendahandbókinni, vinsamlegast reyndu að setja tækið upp í samræmi við viðeigandi tillögur frá Gaozhan metal. Þegar markfestingin er hert skal fyrst herða einn bolta með höndunum og herða síðan annan bolta á ská með höndunum. Endurtaktu þetta þar til allir boltar á tækinu eru hertir og hertu síðan með einhverju.
4、 Skammhlaup og þéttleikaskoðun
Eftir að markbúnaðinum er lokið er nauðsynlegt að athuga skammhlaup og þéttleika bakskautsins í heild,
Lagt er til að ákvarða hvort skammhlaup sé í bakskautinu með því að nota viðnámsmæli
Röð mismunun. Eftir að hafa staðfest að það sé engin skammhlaup í bakskautinu er hægt að framkvæma lekaleit og setja vatn inn í bakskautið til að staðfesta hvort um vatnsleka sé að ræða.
5、 Markmið fyrir sputtering
Target pre sputtering talar fyrir hreinni argon sputtering, sem getur hreinsað yfirborð skotmarksins. Þegar skotmarkið er fyrirfram sputterað er mælt fyrir því að hægt sé að auka sputterkraftinn hægt og rólega og kraftaukningarhraði keramikmarkmiðsins er 1,5WH / cm2. Forsputtering hraði málmmarkmiða getur verið hærri en keramikmarkmiðsblokkar og hæfilegur aflhækkunarhraði er 1,5WH / cm2.
Í því ferli að sputtera, þurfum við að athuga ljósboga skotmarksins. Forsputtertíminn er yfirleitt um 10 mínútur. Ef það er ekkert ljósbogafyrirbæri skaltu stöðugt auka sputterkraftinn
Að settu afli. Samkvæmt reynslu, ásættanlegt Z hár sputtering máttur málm miða er
25wött / cm2, 10wött / cm2 fyrir keramik skotmark. Vinsamlega vísað til stillingargrunns og reynslu af lofttæmihólfsþrýstingi við sputtering í notendahandbók kerfisins. Almennt ætti að tryggja að hitastig vatnsins við úttak kælivatns ætti að vera lægra en 35 ℃, en Z það er mikilvægt að tryggja að hringrásarkerfi kælivatns geti virkað á áhrifaríkan hátt
Hröð hringrás ofurkælandi vatns tekur í burtu hita, sem er mikilvæg trygging til að tryggja stöðuga sputtering með miklum krafti. Fyrir málmmörk er almennt talað um að kælivatnsrennsli sé
20lpm vatnsþrýstingur er um 5gmp; Fyrir keramikmörk er almennt mælt með því að vatnsrennslið sé 30 lpm og vatnsþrýstingurinn um 9gmp.
6、 Markviðhald
Til að koma í veg fyrir skammhlaup og ljósboga af völdum óhreins holrúms í sputtering ferlinu, er nauðsynlegt að fjarlægja sputter sem safnast hefur í miðju og báðum hliðum sputtering lagsins í áföngum,
Þetta hjálpar einnig notendum að sputtera stöðugt við z mikla aflþéttleika
7、 Markgeymsla
Markmiðin sem Gaozhan málmur býður upp á eru pakkað í tveggja laga lofttæmisplastpoka. Við mælum með því að notendur geymi skotmörkin, hvort sem þau eru málm eða keramik, í lofttæmum umbúðum. Sérstaklega þarf að geyma tengingarmarkmiðin við lofttæmi til að koma í veg fyrir að oxun tengingarlagsins hafi áhrif á tengingargæði. Hvað varðar umbúðir málmmarkmiða þá mælum við með því að Z sé pakkað í hreina plastpoka
Birtingartími: 13. maí 2022