Mikil notkun markefnis í ýmsum starfsgreinum gerir eftirspurn eftir markefni sífellt meiri. Eftirfarandi Við munum kynna stuttlega þú hverjar eru helstu virknikröfur skotmarksins, hoping að hjálpa þér.
Hreinleiki: Hreinleiki er einn af aðal hagnýtum vísbendingum skotmarksins, vegna þess að hreinleiki marksins hefur mikil áhrif á virkni kvikmyndarinnar. En í reynd er hreinleiki markefnisins ekki sá sami. Til dæmis, með hröðum vexti öreindafræðistéttarinnar, hefur stærð sílikonskífunnar þróast úr 6 ", 8 "í 12" og raflögn hefur minnkað úr 0,5um í 0,25um, 0,18um og jafnvel 0,13um. Einu sinni getur 99,995% af hreinleika markmiðsins uppfyllt tæknilegar kröfur um 0,35UMIC. Undirbúningur 0,18um línu krefst 99,999% eða jafnvel 99,9999% hreinleika markefnis.
Þéttleiki: Til þess að draga úr gljúpunni í fast efni miðsins og bæta virkni sputtering filmunnar, þarf markið venjulega að hafa mikinn þéttleika. Markþéttleiki hefur ekki aðeins áhrif á sputtering hraða heldur einnig raf- og sjónfræðilega eiginleika filmanna. Því hærra sem markþéttleiki er, því betri er virkni filmunnar. Að auki var þéttleiki og styrkur markefnisins aukinn til að gera það betur í stakk búið til að standast hitauppstreymi við sputtering. Þéttleiki er einnig einn af mikilvægum virknivísum markefna.
Innihald óhreininda: óhreinindi í fast efni marksins og súrefni og vatnsgufa í svitaholunum eru aðal mengunaruppsprettur uppsafnaðra kvikmynda. Mismunandi markefni í mismunandi tilgangi hafa mismunandi kröfur um mismunandi innihald óhreininda. Til dæmis hafa hrein ál- og álmarkmið sem notuð eru í hálfleiðaraiðnaðinum sérstakar kröfur um innihald alkalímálms og innihald geislavirkra frumefna.
Pósttími: 06-06-2022