Sputtered mark efni hafa miklar kröfur við notkun, ekki aðeins fyrir hreinleika og kornastærð, heldur einnig fyrir samræmda kornastærð. Þessar háu kröfur gera það að verkum að við leggjum meiri athygli þegar við notum sputterandi markefni.
1. Sputtering undirbúningur
Það er mjög mikilvægt að viðhalda hreinleika tómarúmsloftsins, sérstaklega sputtering kerfisins. Smurefni, ryk og allar leifar frá fyrri húðun geta safnað mengunarefnum eins og vatni, haft bein áhrif á lofttæmið og aukið líkurnar á bilun í filmumyndun. Skammhlaup, ljósbogamyndun, gróft filmumyndandi yfirborð og óhófleg efnafræðileg óhreinindi stafa venjulega af óhreinum sputtering hólfum, byssum og skotmörkum.
Til að viðhalda samsetningareiginleikum húðarinnar verður sputtering gasið (argon eða súrefni) að vera hreint og þurrt. Eftir að undirlagið hefur verið komið fyrir í sputtering hólfinu þarf að draga loft út til að ná nauðsynlegu lofttæmisstigi fyrir ferlið.
2. Markþrif
Tilgangur skotmarkshreinsunar er að fjarlægja ryk eða óhreinindi sem kunna að vera á yfirborði skotmarksins.
3. Uppsetning miða
Það mikilvægasta sem þarf að huga að við uppsetningarferli markefnisins er að tryggja góða hitatengingu milli markefnisins og kæliveggja sputtering byssunnar. Ef kæliveggurinn eða bakplatan er mjög skekkt getur það valdið sprungum eða beygju meðan á uppsetningu markefnisins stendur. Hitaflutningurinn frá bakmarkinu til markefnisins verður fyrir miklum áhrifum, sem leiðir til vanhæfni til að dreifa hita við sputtering, sem leiðir að lokum til sprungu eða fráviks á markefninu.
4. Skammhlaups- og þéttingarskoðun
Eftir uppsetningu markefnisins er nauðsynlegt að athuga skammhlaup og þéttingu á öllu bakskautinu. Mælt er með því að nota ohmmeter og megohmmeter til að ákvarða hvort bakskautið sé skammhlaupið. Eftir að hafa staðfest að bakskautið sé ekki skammhlaup, er hægt að framkvæma lekaskynjun með því að sprauta vatni inn í bakskautið til að ákvarða hvort leki sé til staðar.
5. Markefni fyrir sputtering
Mælt er með því að nota hreint argongas til að forúða markefninu, sem getur hreinsað yfirborð markefnisins. Mælt er með því að auka hægt og rólega sputtering kraftinn meðan á forsputtering ferlinu fyrir markefnið stendur. Kraftur keramikmarkefnisins
Birtingartími: 19-10-2023