Niobium markefni eru aðallega notuð í sjónhúðun, yfirborðsverkfræðiefnishúðun og húðunariðnaði eins og hitaþol, tæringarþol og mikla leiðni. Á sviði sjónhúðunar er það aðallega notað í sjónrænum augnvörum, linsum, nákvæmni ljósfræði, stórum svæðishúð, 3D húðun og öðrum þáttum.
Niobium markefnið er venjulega kallað bert skotmark. Það er fyrst soðið við koparbakmarkmiðið og síðan sputtered til að setja níóbím atóm í formi oxíða á undirlagsefnið, sem nær að sputtering húðun. Með stöðugri dýpkun og stækkun níóbíummarktækni og notkunar hafa kröfur um einsleitni níóbíummarks örbyggingar aukist, aðallega fram í þremur þáttum: kornastærð fágun, engin augljós áferðarstefnu og bættur efnafræðilegur hreinleiki.
Samræmd dreifing örbyggingar og eiginleika um markið skiptir sköpum til að tryggja sputteringsvirkni níóbíummarkefna. Yfirborð níóbíummarka sem koma fram við iðnaðarframleiðslu sýnir venjulega reglulegt mynstur, sem hefur mikil áhrif á sputteringsvirkni skotmarkanna. Hvernig getum við bætt nýtingarhlutfall markmiðanna?
Með rannsóknum hefur komið í ljós að innihald óhreininda (markhreinleiki) er mikilvægur þáttur sem hefur áhrif á hreinleika. Efnasamsetning hráefna er ójöfn og óhreinindi auðgast. Eftir síðari veltunarvinnslu myndast regluleg mynstur á yfirborði níóbíummarkefnisins; Með því að útrýma ójafnri dreifingu hráefnisþátta og auðgun óhreininda er hægt að forðast myndun reglulegs mynsturs á yfirborði níóbíummarka. Áhrif kornastærðar og byggingarsamsetningar á markefnið geta verið nánast hverfandi.
Pósttími: 19-jún-2023