Við verðum að þekkja markið vel núna, nú er markmarkaðurinn líka að aukast, eftirfarandi er aðalframmistaða sputtering targets sem ritstjóri frá RSM deilir
Hreinleikinn
Hreinleiki markefnis er ein helsta frammistöðuvísitalan, vegna þess að hreinleiki markefnis hefur mikil áhrif á frammistöðu þunnrar filmu. Hins vegar, í hagnýtri notkun, eru hreinleikakröfur markefna ekki þær sömu. Til dæmis, með hraðri þróun öreindatækniiðnaðarins, hefur kísilflísastærðin verið þróuð úr 6 ", 8 "í 12" og raflögn hefur verið minnkað úr 0,5um í 0,25um, 0,18um eða jafnvel 0,13um. Áður getur hreinleiki 99,995% markefnis uppfyllt ferliskröfur 0,35umIC. Hreinleiki markefnisins er 99,999% eða jafnvel 99,9999% fyrir framleiðslu á 0,18um línum.
Innihald óhreininda
Óhreinindin í fast efninu og súrefnið og vatnsgufan í svitaholunum eru helstu mengunarvaldar kvikmyndaútfellingar. Markefni í mismunandi tilgangi hafa mismunandi kröfur um mismunandi óhreinindi. Til dæmis hafa hrein ál- og álblöndur sem notuð eru í hálfleiðaraiðnaði sérstakar kröfur um innihald alkalímálma og geislavirkra þátta.
Þéttleikinn
Til þess að draga úr gljúpunni í fast efni marksins og bæta frammistöðu sputtering filmunnar er venjulega krafist mikillar þéttleika marksins. Þéttleiki marksins hefur ekki aðeins áhrif á sputtering hraða heldur einnig raf- og sjónfræðilega eiginleika filmunnar. Því hærra sem markþéttleikinn er, því betri frammistaða kvikmyndarinnar. Að auki gerir það að auka þéttleika og styrk marksins sem gerir það að verkum að markið þolir betur hitauppstreymi í sputtering ferlinu. Þéttleiki er einnig einn af helstu frammistöðuvísitölum markmiða.
Kornastærð og kornastærðardreifing
Markmiðið er venjulega fjölkristallað með kornastærð á bilinu míkrómetrar til millimetra. Fyrir sama skotmark er sputterhraði marksins með litlum kornum hraðari en skotmarksins með stórum kornum. Þykktardreifing kvikmyndanna sem sett er af sputtering mark með minni kornastærðarmun (jafnri dreifingu) er jafnari.
Pósttími: Ágúst-04-2022