Sprungur í sputtering skotmörk eiga sér stað venjulega í keramik sputtering skotmörk eins og oxíð, karbíð, nítríð og brothætt efni eins og króm, antímon, bismút. Látum nú tæknifræðinga RSM útskýra hvers vegna sputtering markið sprungur og hvaða fyrirbyggjandi ráðstafanir er hægt að gera til að forðast þetta ástand.
Keramik eða brothætt efni innihalda alltaf innbyggt álag. Þessi innri streita myndast í markframleiðsluferlinu. Að auki er þessum álagi ekki alveg útrýmt með glæðingarferlinu, vegna þess að þau eru eðlislægir eiginleikar þessara efna. Í sputteringsferlinu flytur sprengjuárás gasjóna skriðþunga þeirra til markatómanna, sem gefur þeim næga orku til að skilja þær frá grindunum. Þessi útverma skriðþungaflutningur gerir það að verkum að markhitastigið hækkar, sem getur náð 1000000 ℃ á atómstigi.
Þessi hitaáföll auka núverandi innri streitu í skotmarkinu margfalt. Í þessu tilviki, ef hitanum er ekki dreift á réttan hátt, getur skotmarkið brotnað. Til að koma í veg fyrir að skotmarkið sprungi, ætti að leggja áherslu á hitaleiðni. Vatnskælibúnaður er nauðsynlegur til að fjarlægja óæskilega hitaorku frá skotmarkinu. Annað mál sem þarf að huga að er aukningin. Of mikið afl sem beitt er á stuttum tíma mun einnig valda hitaáfalli á skotmarkið. Að auki mælum við með að binda þessi skotmörk við bakplanið, sem getur ekki aðeins veitt stuðning við skotmarkið, heldur einnig stuðlað að betri hitaskipti milli skotmarksins og vatnsins. Ef skotmarkið hefur sprungur en er tengt við bakplötuna er samt hægt að nota það.
Rich Special Materials Co., Ltd. getur útvegað sputtering skotmörk með bakplani. Það er hægt að aðlaga í samræmi við kröfur viðskiptavina um efni, þykkt og bindingargerð.
Birtingartími: 21. september 2022