Tækniráðgjafi RSM mun deila með þér kostum sívalninga og flatra segulróna sputtering skotmarka? Samanborið við önnur segulsviðssputteringsmarkmið, halda sívalur og planar segulómsputteringsmarkmiðum kostum góðrar einsleitni húðunar á rétthyrndum planum markmiðum og geta hámarkað nýtingu skotmarka með eftirfarandi tveimur leiðum:
(1) Þegar tveir hópar (fjórir) hringlaga hola á yfirborði skotmarksins ná ákveðnu dýpi, er hægt að snúa markkjarnanum (segulhlutanum) 45 ° miðað við markrörið, þannig að önnur svæði á markrörinu sem ekki hafa verið tærð má nota;
(2) Þegar markkjarni sívalningslaga og flatrar segulómspúttunarmarkmiðsins er hannaður sem snúningsmarkskjarni (markskjarninn snýst við sputtering) er hægt að sputtera yfirborði marksins jafnt af lag fyrir lag án gryfja. Á þessum tíma verður markið notað á skilvirkasta hátt og nýtingarhlutfall marksins getur náð 50% ~ 60% Þegar markefnið er góðmálmur er þetta augljóslega mikilvægt.
Með því að nota meginregluna um segul með skautskó í kóaxískum sívalur segulsviðssputtermiði til að leysa vandamálið með enda segulsviði, er hægt að umbreyta rétthyrndu plansmarkmiðinu í sívalt og flatt segulómsputteringsmarkmið, Markmiðið getur hámarkað nýtingarhraða marksins. á meðan haldið er góðri einsleitni húðunar á rétthyrndu flugmarkinu til að bæta efnahagslegan ávinning.
Pósttími: 04-04-2022