Sputtering titanium alloy lekwasịrị anya na titanium metal na-emi esịnede titanium, otú ozi bụ Olee ihe enyemaka otu, ma ihe dị iche n'etiti abụọ bụ tumadi na sputtering titanium alloy lekwasịrị mere nke titanium metal site ọtụtụ ụzọ, na titanium emee na ọdịdị dị ka a. titanium ore.Titanium alloy zaa nwere ike ọtụtụ ebe na-eji na ọtụtụ ọrụ edemede, Ugbu a Beijing Richmat si edemede chịkọta ọtụtụ nkịtị titanium alloy lekwasịrị n'usoro nke ojiji. nke ọnọdụ iji nye anyị nkọwa mmeghe.
;
一, Ti lekwasịrị anya maka sekit agbakwunyere
Ihe ndị a chọrọ maka ịgbasa ihe mgbaru ọsọ titanium alloy dị iche n'etiti sekit anaghị ejikọta na sekit agbakwunyere. N'ozuzu, sekit ndị jikọtara ọnụ nwere ihe dị elu chọrọ maka data mkpuchi, dị ka ịdị ọcha dị elu, obere mkpụrụ ọka na ọnụ ọgụgụ ziri ezi nke ziri ezi. Ịdị ọcha nke titanium lekwasịrị anya na sekit agbakwunyere dị elu karịa 99.995%, nke dị elu karịa nke a na-eji eme ihe na-adịghị ejikọta ya. sekit, na-egosi na ojiji dị iche iche nke titanium lekwasịrị anya chọrọ dị nnọọ iche.
二, Ti target for flat panel display
Titanium alloy targets used in flat panel displays include liquid crystal display, plasma display, electroluminescence display and field emission display.The thin film of flat display is sputtered forming method, Al, Cu, Ti and Mo are the first metal sputtering targets for flat panel. Ngosipụta.Ịdị ọcha nke ebumnuche titanium alloy maka ngosipụta panel dị larịị na-abụkarị karịa 99.9%.
三、Ti lekwasịrị anya maka ihe eji achọ mma
Ihe dị elu dị ọcha titanium alloy lekwasịrị anya nwere nguzogide corrosion ikuku dị mma, ogologo oge eji ikuku eme ihe adịghị agbanwe agba, iji hụ na agba mbụ nke titanium na kọntaktị mmadụ abụghị ihe nfụkasị na njirimara ndị ọzọ dị mma. Ya mere, a pụkwara iji titanium dị ọcha mee ihe dị ka ihe ịchọ mma, n'ime afọ ndị na-adịbeghị anya, dị ka ọla aka, elekere na iko na ihe ịchọ mma ndị ọzọ na ịdị ọcha titanium eruola ọkwa 5N.
四, Ti lekwasịrị anya maka sistemu ịgbapụta ikuku dị elu
Dị ka metal na-arụ ọrụ nke kemịkalụ, titanium nwere ike imeghachi omume na ọtụtụ ihe na ogige na oke okpomọkụ. The elu ịdị ọcha titanium alloy lekwasịrị nwere ike adsorption ike maka arụ ọrụ gas (dị ka O2, N2, CO, CO2, mmiri vapor n'elu 650 Celsius C), na Ti film evaporating na mgbapụta mgbidi nwere ike ime a elu na elu adsorption arụmọrụ. . Nke a na ihe onwunwe na-eme ka Ti n'ọtụtụ ebe na-eji dị ka onye na-esi na ultra-elu agụụ gas mmịpụta system.If na-eji melite mgbapụta, sputtering ion mgbapụta, wdg, ọ nwere ike ime ka kacha arụ ọrụ nrụgide nke sputtering ion mgbapụta dị ala dị ka 10-9PA.
Oge nzipu: Eprel-25-2022