1. Nkwadebe na-agba agba
Ọ dị ezigbo mkpa idobe oghere oghere, ọkachasị sistemu sputter dị ọcha. Ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ nke a na-emepụta site na mmanu mmanu, uzuzu na mkpuchi gara aga ga-anakọta vapor mmiri na ihe ndị ọzọ na-emerụ emerụ, nke ga-emetụta kpọmkwem ogo agụụ ma mee ka ohere nke ịmepụta ihe nkiri. A na-ebutekarị sekit dị mkpụmkpụ ma ọ bụ ịgba ọkụ, elu ihe nkiri siri ike na ọdịnaya adịghị ọcha nke kemịkalụ na-ebutekarị site na ọnụ ụlọ na-adịghị ọcha, egbe ịgbasa na ebumnuche. Iji jide n'aka na njirimara mejupụtara nke mkpuchi ahụ, ọ dị mkpa iji kpochapụ ma kpoo gas na-agbapụta (argon ma ọ bụ oxygen). Mgbe etinyere mkpụrụ ahụ n'ime ụlọ a na-agbapụta, ọ dị mkpa ka a na-ewepụta ikuku iji ruo oghere nke usoro ahụ chọrọ. Ekwesịrị idobe ihe mkpuchi mkpuchi na mpaghara gbara ọchịchịrị, mgbidi oghere na elu dị n'akụkụ ya dị ọcha. Mgbe ị na-ehicha oghere oghere, anyị na-akwado iji bọọlụ bọọlụ gbawara agbawa iji mesoo akụkụ uzuzu uzuzu, yana ikuku abịakọrọ iji wepụ ihe ndị na-agbapụta n'oge na gburugburu ụlọ ahụ, wee jiri nwayọọ na-eji akwụkwọ aja alumina na-ekpochapụ elu ahụ. Mgbe emechara akwụkwọ gauze ahụ, a na-asacha ya na mmanya, acetone na mmiri deionized. Ọnụ, ọ na-akwado iji ihe mkpocha ụlọ ọrụ maka nhicha inyeaka. Ebumnuche ndị Gaozhan metal rụpụtara na-ejupụta na akpa rọba mechiri emechi,
Ewubere ya n'ụlọnga na-egbochi mmiri. Mgbe ị na-eji ebumnuche, biko ejila aka gị metụ ihe mgbaru ọsọ ahụ aka ozugbo. Mara: mgbe ị na-eji ebumnuche, biko yi uwe nchekwa dị ọcha na nke na-enweghị ntụpọ. Ejila aka gị emetụ ihe mgbaru ọsọ aka
2. Nzube ihicha
Ebumnuche nke ihicha ebumnuche bụ iwepu uzuzu ma ọ bụ unyi nwere ike ịdị n'elu ebumnuche ahụ.
Enwere ike ihicha ebumnuche ọla ahụ na nzọụkwụ anọ,
Nzọụkwụ mbụ bụ iji akwa dị nro na-enweghị lint na-ehicha ya na acetone;
Nzọụkwụ nke abụọ yiri nzọụkwụ mbụ, ihicha mmanya na-aba n'anya;
Nzọụkwụ 3: dị ọcha na mmiri deionized. Mgbe ịsachara ya na mmiri deionized, tinye ihe mgbaru ọsọ na oven wee kpoo ya na 100 ℃ maka nkeji 30.
A ga-eji akwa "lint free" mee ihe nhicha nke oxide na seramiiki.
Nzọụkwụ nke anọ bụ ịsacha ihe mgbaru ọsọ na argon na nnukwu nrụgide na obere mmiri gas mgbe ọ wepụsịrị ebe uzuzu uzuzu, ka e wee wepụ ihe niile na-adịghị ọcha nke nwere ike ịmepụta arc na usoro sputtering.
3. Target ngwaọrụ
N'ime usoro ntinye nke ebumnuche, Z dị mkpa ịkpachara anya bụ iji hụ na njikọ ikuku dị mma n'etiti ebumnuche na mgbidi jụrụ oyi nke egbe sputtering. Ọ bụrụ na warpage nke stave jụrụ oyi siri ike ma ọ bụ warpage nke efere azụ dị njọ, ngwaọrụ ezubere iche ga-agbawa ma ọ bụ gbagọrọ agbagọ, a ga-emetụtakwa conductivity thermal conductivity si n'azụ lekwasịrị anya, na-ebute ọdịda nke ikpo ọkụ ọkụ. n'ime usoro mgbasa ozi, na ebumnuche ga-agbawa ma ọ bụ tụfuo
Iji hụ na conductivity thermal, a oyi akwa nke graphite akwụkwọ nwere ike padded n'etiti cathode jụrụ mgbidi na ihe mgbaru ọsọ. Biko ṅaa ntị iji nlezianya lelee ma mee ka ọ dị larịị nke mgbidi jụrụ oyi nke egbe sputtering na-eji iji hụ na O-mgbanaka na-adị mgbe niile.
Ebe ọ bụ na a ga-edobe ịdị ọcha nke mmiri jụrụ oyi na-eji na ájá nke nwere ike ime n'oge a na-arụ ọrụ nke ngwá ọrụ na tank mmiri nke cathode jụrụ oyi, ọ dị mkpa iji chọpụta ma hichaa mmiri mmiri na-ekpo ọkụ cathode mgbe ị na-etinye ihe mgbaru ọsọ iji hụ na ọ dị mma. mgbasa nke mmiri jụrụ oyi na na a gaghị egbochi ntinye na ntinye.
A na-eme atụmatụ ụfọdụ cathodes ka ha nwee obere oghere na anode, ya mere, mgbe ị na-etinye ihe mgbaru ọsọ, ọ dị mkpa iji hụ na ọ dịghị aka ma ọ bụ onye nduzi n'etiti cathode na anode, ma ọ bụghị obere sekit ga-eme.
Rụtụ aka na ntuziaka onye na-ahụ maka akụrụngwa maka ozi gbasara otu esi arụ ọrụ nke ọma. Ọ bụrụ na enweghị ozi dị otú ahụ na ntuziaka onye ọrụ, biko gbalịa ịwụnye ngwaọrụ dịka aro ndị dị mkpa nke Gaozhan metal nyere. Mgbe ị na-eme ka ihe a na-achọsi ike sie ike, buru ụzọ mee ka otu bolt sie ike site na aka, wee jiri aka mee nke ọzọ na diagonal. Tinyegharịa nke a ruo mgbe bolts niile dị na ngwaọrụ ahụ siri ike, wee jiri ihe mee ka ọ sie ike.
4, Short sekit na tightness nnyocha
Mgbe emechara ngwaọrụ ebumnuche, a chọrọ ka ịlele obere sekit na tightness nke cathode dum.
A na-atụ aro iji chọpụta ma enwere obere sekit na cathode site na iji mita nguzogide
Ahịrị ịkpa oke. Mgbe o kwusịrị na ọ dịghị obere sekit dị na cathode, a pụrụ ime nchọpụta nkwụsị, na mmiri nwere ike ịbanye n'ime cathode iji gosi ma ọ dị mmiri mmiri.
5, Target tupu sputtering
Target pre sputtering na-akwado ịdị ọcha argon sputtering, nke nwere ike ihicha elu nke ebumnuche. Mgbe ebum n'uche bu ụzọ gbasaa, a na-akwado ka iji nwayọọ nwayọọ na-abawanye ike sputtering, na ike mmụba ọnụego nke seramiiki lekwasịrị anya bụ 1.5WH / cm2. The tupu sputtering ọsọ nke metal lekwasịrị anya nwere ike dị elu karịa nke seramiiki lekwasịrị block, na ezi uche abawanye ọnụego bụ 1.5WH / cm2.
Na usoro nke tupu sputtering, anyị kwesịrị ịlele arcing nke lekwasịrị anya. Oge tupu sputtering oge na-adịkarị ihe dị ka nkeji iri. Ọ bụrụ na ọ dịghị arcing onu, na-aga n'ihu na-abawanye na sputtering ike
Na ike setịpụrụ. Dị ka ahụmahụ si kwuo, ike dị elu Z nke a na-anakwere nke mgbakwasa ọla bụ
25watts / cm2, 10watts / cm2 maka ebumnuche seramiiki. Biko rụtụ aka na ntọala ntọala na ahụmịhe nke nrụgide ụlọ agụụ mgbe ị na-efesa n'akwụkwọ ntuziaka ọrụ nke onye ọrụ. N'ozuzu, ọ kwesịrị ijide n'aka na mmiri okpomọkụ dị na ntinye nke mmiri jụrụ oyi kwesịrị ịdị ala karịa 35 ℃, ma Z ọ dị mkpa iji hụ na usoro mgbasa ozi nke mmiri jụrụ oyi nwere ike ịrụ ọrụ nke ọma.
Mgbasa ngwa ngwa nke mmiri na-ekpo ọkụ na-ewepụ okpomọkụ, nke bụ ihe dị mkpa na-ekwe nkwa iji hụ na ịgbasa na-aga n'ihu na ike dị elu. Maka ebumnuche ígwè, a na-akwadokarị na mmiri na-eme ka mmiri dị jụụ bụ
20lpm mmiri mgbali bụ banyere 5gmp; Maka ebumnuche seramiiki, a na-akwadokarị na mmiri na-eru 30lpm na nrụgide mmiri dị ihe dịka 9gmp.
6. Nkwalite ebumnuche
Iji gbochie obere sekit na arcing nke oghere na-adịghị ọcha na-eme n'ime usoro mgbasa ozi, ọ dị mkpa iji wepụ sputter gbakọtara na etiti na n'akụkụ abụọ nke egwu egwu na nkebi,
Nke a na-enyekwara ndị ọrụ aka ka ha na-efesa n'oke ike z
7. Nchekwa ebumnuche
A na-akwakọba ebumnobi ndị Gaozhan metal nyere na akpa rọba oghere oghere okpukpu abụọ. Anyị na-akwado ka ndị ọrụ na-edobe ebumnuche, ma metal ma ọ bụ seramiiki, na nkwakọ ihe efu. Karịsịa, ekwesịrị ịchekwa ebumnuche njikọ ahụ n'okpuru ọnọdụ oghere iji gbochie oxidation nke oyi akwa njikọ ahụ ka ọ ghara imetụta àgwà njikọ. N'ihe gbasara nkwakọba ebumnuche igwe, anyị na-akwado na a ga-etinye Z na akpa rọba dị ọcha
Oge nzipu: Mee-13-2022