Sputtered lekwasịrị anya ihe nwere elu chọrọ n'oge ojiji, ọ bụghị nanị maka ịdị ọcha na urughuru size, kamakwa maka edo urughuru size. Ihe ndị a dị elu na-eme ka anyị na-aṅa ntị karịa mgbe anyị na-eji ihe ebumpụta ụwa.
1. Nkwadebe sputtering
Ọ dị ezigbo mkpa ịnọgide na-adị ọcha nke oghere oghere, karịsịa usoro sputtering. Ihe mmanu mmanu, uzuzu, na ihe ọ bụla sitere na mkpuchi ndị gara aga nwere ike ịkwakọba ihe ndị na-emetọ ihe dị ka mmiri, na-emetụta oghere ahụ ozugbo ma na-abawanye ohere nke imepụta ihe nkiri. A na-ebutekarị sekit dị mkpirikpi, ịgba ọkụ ezubere iche, ebe a na-emepụta ihe nkiri na-adịghị mma, na adịghị ọcha kemịkalụ gabiga ókè site n'ọnụ ụlọ na-efesa adịghị ọcha, égbè, na ndị e lekwasịrị anya.
Iji nọgide na-enwe njirimara mejupụtara nke mkpuchi ahụ, gas na-agbapụta (argon ma ọ bụ oxygen) ga-adị ọcha ma kpọọ nkụ. Mgbe etinyere mkpụrụ n'ime ụlọ sputtering, ọ dị mkpa ka ewepụtara ikuku iji nweta ọkwa oghere achọrọ maka usoro ahụ.
2. ihicha ebumnuche
Ebumnuche nke ihicha ebumnuche bụ iwepu uzuzu ma ọ bụ unyi ọ bụla nwere ike ịdị n'elu ebumnuche ahụ.
3. Echichi ebumnuche
Ihe kachasị mkpa ị ga-aṅa ntị n'oge usoro ntinye nke ihe a na-achọsi ike bụ iji hụ na njikọ ọkụ dị mma n'etiti ihe a na-achọsi ike na mgbidi dị jụụ nke egbe sputtering. Ọ bụrụ na mgbidi dị jụụ ma ọ bụ efere azụ na-agbagọ nke ọma, ọ nwere ike ime ka mgbawa ma ọ bụ gbadaa n'oge ntinye nke ihe ezubere iche. A ga-enwe mmetụta dị ukwuu na mbufe ọkụ site n'azụ azụ gaa na ihe a na-atụ anya ya, na-eme ka enweghi ike ikpochapụ okpomọkụ n'oge ịgbasa, n'ikpeazụ na-eduga na mgbawa ma ọ bụ ntụgharị nke ihe a na-eche.
4. Obere sekit na nyocha akara
Mgbe echichi nke ihe ezubere iche, ọ dị mkpa ịlele obere sekit na akara nke cathode dum. A na-atụ aro ka iji ohmmeter na megohmmeter chọpụta ma cathode dị mkpụmkpụ. Mgbe ekwenyechara na cathode abụghị obere okirikiri, enwere ike ime nchọpụta ntanye site na ịgbanye mmiri n'ime cathode iji chọpụta ma ọ bụrụ na ọ dị.
5. Target ihe tupu sputtering
A na-atụ aro ka iji gas argon dị ọcha maka ịgbasa ihe a na-achọsi ike, nke nwere ike ihicha elu nke ihe a na-achọsi ike. A na-atụ aro ka iji nwayọọ nwayọọ na-abawanye ike sputter n'oge usoro mgbasa ozi maka ihe ezubere iche. Ike nke seramiiki lekwasịrị anya
Oge nzipu: Ọktoba 19-2023