Arụmọrụ chọrọ maka ebumnuche ebumnuche na ụlọ ọrụ nchekwa anya

Ihe ezubere iji mee ihe na ụlọ ọrụ nchekwa data chọrọ ịdị ọcha dị elu, a ga-ebelatakwa ihe ndị na-adịghị ọcha na pores iji zere ọgbọ nke adịghị ọcha n'oge sputtering. Ihe e lekwasịrị anya maka ngwaahịa dị elu chọrọ ka nha kristal ya kwesịrị ịdị obere na otu, na enweghị ntụgharị kristal. N'okpuru ebe a, ka anyị leba anya n'ihe achọrọ nke ụlọ ọrụ nchekwa anya maka ihe ezubere iche?

1. Ịdị ọcha

N'ime ngwa bara uru, ịdị ọcha nke ihe ebumnuche dịgasị iche dịka ụlọ ọrụ dị iche iche na ihe achọrọ. Otú ọ dị, n'ozuzu ya, ịdị ọcha nke ihe a na-achọsi ike, na-arụ ọrụ nke ọma nke ihe nkiri a na-agbapụta. Dịka ọmụmaatụ, na ụlọ ọrụ nchekwa anya, ịdị ọcha nke ihe a na-achọ ka achọrọ ka ọ dị elu karịa 3N5 ma ọ bụ 4N.

2. Ọdịnaya adịghị ọcha

Ihe e lekwasịrị anya na-eje ozi dị ka isi iyi cathode na sputtering, na adịghị ọcha dị na siri ike na ikuku oxygen na mmiri vapo na pores bụ isi mmalite mmetọ maka itinye ihe nkiri dị mkpa. Na mgbakwunye, enwere ihe pụrụ iche chọrọ maka ebumnuche nke ojiji dị iche iche. N'iji ụlọ ọrụ nchekwa ihe anya dị ka ihe atụ, ọdịnaya adịghị ọcha na ebumnobi na-agbapụta ga-achịkwa nke ukwuu iji hụ na mkpuchi dị mma.

3. Mkpụrụ ọka na oke nkesa

Ọtụtụ mgbe, ihe a na-achọsi ike nwere nhazi polycrystalline, nke nwere oke ọka sitere na micrometers ruo millimeters. Maka ebumnuche ndị nwere otu ihe mejupụtara, ọnụ ọgụgụ mgbụsị akwụkwọ nke ezigbo ebumnuche ọka na-adị ngwa karịa nke ebumnuche ọka. N'ihi na lekwasịrị na nta ọka size iche, edebe ihe nkiri ọkpụrụkpụ ga-abụkwa edo.

4. Kọmpat

Iji belata porosity n'ime ihe mgbaru ọsọ siri ike ma melite arụmọrụ ihe nkiri, a na-achọkarị ka ihe na-agbapụta agbapụ nwere nnukwu njupụta. Njupụta nke ihe ezubere iche dabere na usoro nkwadebe. Ihe ezubere iche nke emepụtara site na agbaze na usoro nkedo nwere ike hụ na enweghị oghere n'ime ihe a na-achọsi ike na njupụta dị oke elu.