Ndetu nke PVD magnetron sputtering oghere mkpuchi

Aha zuru oke nke PVD bụ uzuoku anụ ahụ, nke bụ mbiri nke bekee (nzube anụ ahụ). Ka ọ dị ugbu a, PVD na-agụnye mkpuchi evaporation, mkpuchi magnetron sputtering, mkpuchi multi arc ion, ntinye mmiri kemịkalụ na ụdị ndị ọzọ. N'ikwu okwu n'ozuzu, PVD bụ nke ụlọ ọrụ nchebe gburugburu ebe obibi ndụ ndụ. E jiri ya tụnyere ụlọ ọrụ ndị ọzọ, ọ na-enwe obere mmebi n'ahụ mmadụ, ma ọ bụghị na-enweghị ya. N'ezie, enwere ike ibelata ya nke ọma ma ọ bụ ọbụna kpochapụ ya kpamkpam. Na PVD magnetron sputtering agụụ mkpuchi mkpuchi, site na òkè si editọ nke RSM, anyị nwere ike ọzọ n'ụzọ ziri ezi na-aghọta mkpa ọkachamara ọkachamara.

　　Rịba ama ihe ndị a gbasara PVD magnetron sputtering vacuum mkpuchi:

1. Radiation: ụfọdụ mkpuchi kwesịrị iji ọkụ ọkụ RF. Ọ bụrụ na ike dị elu, ọ dị mkpa ka e chebe ya. Tụkwasị na nke ahụ, dị ka ụkpụrụ ndị Europe si dị, a na-etinye wires ígwè n'akụkụ ọnụ ụzọ nke otu ụlọ mkpuchi ụlọ iji chebe radieshon.

2. Metal mmetọ: ụfọdụ ihe mkpuchi (dị ka chromium, indium, aluminom) na-emerụ ahụ mmadụ, na e kwesịrị itinye nlebara anya pụrụ iche na mmetọ uzuzu n'oge nhicha nke oghere oghere;

3. Mmetọ mkpọtụ: karịsịa maka ụfọdụ nnukwu mkpuchi mkpuchi, igwe mgbapụta igwe na-eme mkpọtụ na-eme mkpọtụ, yabụ enwere ike kewapụ mgbapụta ahụ n'èzí mgbidi;

4. Mmetọ ọkụ: na usoro nke mkpuchi ion, gas ionizes ma na-ebunye ọkụ siri ike, nke na-adabaghị na-ele anya site na windo nlele ruo ogologo oge;

Okpomọkụ na-arụ ọrụ n'ozuzu nke PVD magnetron sputtering mkpuchi bụ njikwa n'etiti 0 ~ 500!