Ihe ndị bụ isi nke ihe ebum n'obi na-agbasa

Anyị ga-mara nke ọma na lekwasịrị ugbu a, ugbu a lekwasịrị ahịa na-na-amụba, ndị na-esonụ bụ ihe 's isi arụmọrụ nke sputtering lekwasịrị òkè editọ si RSM.

　　Ịdị ọcha

Ịdị ọcha nke ihe e lekwasịrị anya bụ otu n'ime ihe ngosi arụmọrụ bụ isi, n'ihi na ịdị ọcha nke ihe ezubere iche nwere mmetụta dị ukwuu na arụmọrụ nke ihe nkiri dị mkpa. Otú ọ dị, na ngwa bara uru, ihe ndị chọrọ ịdị ọcha nke ihe ezubere iche abụghị otu. Dịka ọmụmaatụ, na mmepe ngwa ngwa nke ụlọ ọrụ microelectronics, a na-emepụta nha silicon mgbawa site na 6 ", 8" ruo 12 ", na obosara nke wiring belatara site na 0.5um ruo 0.25um,0.18um ma ọ bụ ọbụna 0.13um. Na mbụ, ịdị ọcha nke 99.995% lekwasịrị anya ihe nwere ike izute usoro chọrọ nke 0.35umIC. Ịdị ọcha nke ihe e lekwasịrị anya bụ 99.999% ma ọ bụ ọbụna 99.9999% maka nkwadebe nke ahịrị 0.18um.

　　Ọdịnaya adịghị ọcha

Ihe ndị na-adịghị ọcha dị na ebumnuche siri ike yana ikuku oxygen na ikuku mmiri dị na pores bụ isi ihe mmetọ na-esi na ntinye ihe nkiri. Ihe ebumnuche maka ebumnuche dị iche iche nwere ihe dị iche iche chọrọ maka ọdịnaya adịghị ọcha dị iche iche. Dịka ọmụmaatụ, ebumnuche aluminom na aluminom dị ọcha ejiri na ụlọ ọrụ semiconductor nwere ihe pụrụ iche chọrọ maka ọdịnaya nke ọla alkali na ihe redioaktivu.

　　The njupụta

Iji belata porosity na ebumnuche siri ike ma melite arụmọrụ nke ihe nkiri sputtering, a na-achọkarị njupụta dị elu nke ebumnuche. Njupụta nke ihe mgbaru ọsọ na-emetụta ọ bụghị nanị na ọnụ ọgụgụ sputtering kamakwa ọkụ eletrik na ngwa anya nke ihe nkiri ahụ. Nke dị elu nke njupụta ebumnuche, otú ahụ ka arụmọrụ ihe nkiri dị mma. Tụkwasị na nke ahụ, ịba ụba njupụta na ike nke ihe mgbaru ọsọ na-eme ka ihe mgbaru ọsọ na-eguzogide nrụgide okpomọkụ na usoro mgbasa ozi. Njupụta bụkwa otu n'ime igodo arụmọrụ nke ebumnuche.

　　Nha ọka na nkesa oke ọka

Ebumnuche na-abụkarị polycrystalline nwere nha ọka sitere na micrometer ruo millimeter. Maka otu ebumnuche ahụ, ọnụọgụ sputter nke ebumnuche na obere mkpụrụ na-adị ngwa ngwa karịa nke ebumnuche nwere nnukwu ọka. Ọkpụrụkpụ nkesa nke ihe nkiri na-edebe site sputtering lekwasịrị anya na obere nha nha ọdịiche (n'ụdị nkesa) bụ ihe edo.