Dị ka anyị niile maara, ụzọ ndị a na-ejikarị eme ihe na mkpuchi agụụ bụ ikuku transpiration na ion sputtering. Gịnị bụ ihe dị iche n'etiti transpiration mkpuchi na sputtering mkpuchi Ọtụtụndị mmadụ nwee ajụjụ ndị dị otú ahụ. Ka anyị kerịta gị ihe dị iche n'etiti mkpuchi transpiration na mkpuchi sputtering
Ihe nkiri transpiration Vacuum bụ ikpokọta data ahụ ka ọ bụrụ transpiration gaa n'ọnọdụ dị mma site na ikpo ọkụ ọkụ ma ọ bụ ọkụ elektrọn na ogbunigwe laser na gburugburu ebe nwere ogo ikuku na-erughị 10-2Pa, nke mere na ike ịma jijiji nke molecules ma ọ bụ Atọm na data karịrị ike njide nke elu, nke mere na ọtụtụ molekul ma ọ bụ atọm transpiration ma ọ bụ na-abawanye, na-etinye ha ozugbo na mkpụrụ na-etolite a film. Ion sputtering mkpuchi na-eji elu remonstrance ije nke nti ion eme site gas mwụfu n'okpuru mmetụta nke eletriki ubi ka bombard lekwasịrị anya dị ka cathode, nke mere na atọm ma ọ bụ ụmụ irighiri ihe na iche iche gbapụ na nkwụnye ego n'elu nke plated workpiece na-etolite. ihe nkiri a chọrọ.
Ụzọ a na-ejikarị eme ihe maka mkpuchi ikuku transpiration bụ usoro ikpo ọkụ na-eguzogide. Uru ya bụ usoro dị mfe nke isi iyi ọkụ, ọnụ ala dị ala na ọrụ dị mma. Ọdịmma ya bụ na ọ naghị adabara ọla ndị na-emegharị emegharị na mgbasa ozi na-eguzogide okpomọkụ dị elu. Igwe ọkụ ọkụ eletrik na ọkụ laser nwere ike imeri adịghị ike nke ikpo ọkụ ọkụ. Na ọkụ ọkụ eletrik, a na-eji ọkụ eletrọn lekwasịrị anya na-ekpo ọkụ ozugbo data kpuchiri ekpuchi, na ike kinetic nke eriri eletrọn na-aghọ ike ọkụ iji mee ka data ahụ pụta. Igwe ọkụ laser na-eji laser ike dị elu dị ka isi iyi ọkụ, ma n'ihi ọnụ ahịa dị elu nke laser dị elu, enwere ike iji ya na ọnụ ọgụgụ dị nta nke ụlọ nyocha nyocha.
Nkà ịgbasa mmiri dị iche na nka imegharị agụụ. Ịgbasa na-ezo aka n'ihe na-eme ka ụmụ irighiri ihe na-atụba bọmbụ na-alaghachi n'elu (ebumnuche) nke ahụ, nke mere na atom ma ọ bụ molecule siri ike na-esi n'elu pụta. Ọtụtụ n'ime ụmụ irighiri ihe ndị a na-ewepụta bụ atọm, nke a na-akpọkarị atom sputtered. Ụmụ irighiri ihe ndị a wụsa a na-eji eme ihe atụ ogbunigwe nwere ike ịbụ eletrọn, ion ma ọ bụ ihe na-anọpụ iche. N'ihi na ion dị mfe iji nweta ike kinetic achọrọ n'okpuru ọkụ eletrik, a na-ahọrọkarị ion dị ka ụmụ irighiri ihe.
Usoro ịgbasa mmiri na-adabere na mwepu na-egbuke egbuke, ya bụ, ions na-agbapụta na-abịa site na nsị gas. Nkà mmụta sputtering dị iche iche nwere usoro ịgbapụta ọkụ dị iche iche. DC diode sputtering na-eji DC glow ihapu; Triode sputtering bụ ihe na-egbuke egbuke nke cathode na-ekpo ọkụ na-akwado; RF sputtering na-eji RF glow mwepu; Magnetron sputtering bụ ihe na-egbuke egbuke nke oghere magnetik na-achịkwa.
E jiri ya tụnyere mkpuchi transpiration agụụ, mkpuchi sputtering nwere ọtụtụ uru. Ọ bụrụ na ihe ọ bụla nwere ike ịgbasa, karịsịa ihe ndị na-emepụta ihe na ogige ndị nwere nnukwu agbaze na nrụgide ikuku dị ala; Adhesion n'etiti ihe nkiri sputtered na mkpụrụ dị mma; Njupụta ihe nkiri dị elu; Enwere ike ịchịkwa ọkpụrụkpụ ihe nkiri ahụ na nkwughachi dị mma. Ihe ọghọm bụ na akụrụngwa dị mgbagwoju anya ma chọọ ngwaọrụ voltaji dị elu.
Na mgbakwunye, nchikota nke usoro transpiration na usoro sputtering bụ ion plating. Uru nke usoro a bụ nchikota siri ike n'etiti ihe nkiri ahụ na mkpụrụ osisi, ọnụ ọgụgụ dị elu na njupụta dị elu nke ihe nkiri ahụ.
Oge nzipu: Mee-09-2022