Atụmanya mmepe nke ebumnuche ọla kọpa dị ọcha dị elu

Ka ọ dị ugbu a, ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ ebumnuche ọla kọpa dị elu dị elu dị elu nke ụlọ ọrụ IC chọrọ bụ nke ọtụtụ nnukwu ụlọ ọrụ mba ofesi na-achịkọta ya. All ultrapure ọla kọpa lekwasịrị mkpa nke ụlọ IC ụlọ ọrụ kwesịrị ibubata, nke na-abụghị nanị dị oké ọnụ, ma na-agbagwoju anya na mbubata usoro Ya mere, China chọrọ ngwa ngwa imeziwanye mmepe na nkwenye nke ultra-high ịdị ọcha (6N) ọla kọpa sputtering. . Ka anyị leba anya n'isi ihe na ihe isi ike dị na mmepe nke ultra-high ịdị ọcha (6N) ọla kọpa sputtering.

1,Mmepe nke ultra elu ịdị ọcha ihe

Nkà na ụzụ na-adị ọcha nke Cu, Al na Ta metals dị ọcha dị na China dị anya na mba ndị mepere emepe. Ka ọ dị ugbu a, ọtụtụ n'ime ọla ndị dị elu dị ọcha nke enwere ike inye enweghị ike izute ihe dị mma chọrọ nke sekit agbakwunyere maka ebumnuche ịgbasa dị ka usoro nyocha niile nke ụlọ ọrụ si dị. Ọnụọgụ ntinye na ebumnuche dị oke elu ma ọ bụ kesaa ya n'ụzọ na-ezighi ezi. A na-etolite akụkụ ahụ na wafer n'oge a na-agbapụta, na-ebute obere sekit ma ọ bụ oghere nke interconnect, nke na-emetụta ọrụ nke ihe nkiri ahụ nke ukwuu.

2,Mmepe nke ọla kọpa sputtering ebumnuche nkwadebe teknụzụ

Mmepe nke teknụzụ nkwadebe ebumnuche ọla kọpa na-elekwasị anya n'akụkụ atọ: nha ọka, njikwa nghazi na ịdị n'otu. Ụlọ ọrụ semiconductor nwere ihe kachasị mkpa maka ịchụpụ ebumnobi na ikpochapụ akụrụngwa. Ọ nwere ihe siri ike chọrọ maka njikwa oke ọka n'elu na ntụgharị kristal nke ebumnuche. A ghaghị ịchịkwa oke ọka nke ebumnuche na 100μ M n'okpuru, ya mere, njikwa oke ọka na ụzọ nyocha mmekọrịta na nchọpụta dị oke mkpa maka mmepe nke ebumnuche ígwè.

3,Mmepe nke nyocha naule teknụzụ

Ịdị ọcha dị elu nke ebumnuche pụtara ibelata adịghị ọcha. N'oge gara aga, a na-eji plasma inductively jikọtara ọnụ (ICP) na atomiki absorption spectrometry iji chọpụta adịghị ọcha, ma n'afọ ndị na-adịbeghị anya, a na-eji nwayọọ nwayọọ na-eji ihe nyocha nke na-egbuke egbuke (GDMS) nwere mmetụta dị elu dị ka ọkọlọtọ. usoro. A na-ejikarị usoro RRR residual resistance ratio maka ikpebi ịdị ọcha eletrik. Ụkpụrụ mkpebi ya bụ inyocha ịdị ọcha nke metal base site n'ịtụ ogo nke mgbasasị eletrọnịkị nke adịghị ọcha. N'ihi na ọ bụ iji tụọ nguzogide na ụlọ okpomọkụ na oke okpomọkụ, ọ dị mfe iji nọmba ahụ. N'ime afọ ndị na-adịbeghị anya, iji chọpụta ihe dị mkpa nke ọla, nchọpụta banyere ịdị ọcha ultra-high na-arụsi ọrụ ike. N'okwu a, uru RRR bụ ụzọ kachasị mma iji nyochaa ịdị ọcha.