Targetnya dikemas dalam kantong plastik vakum ganda. Kami menganjurkan agar pengguna menyimpan target, baik logam atau keramik, dalam kemasan vakum, terutama target pengikat perlu disimpan dalam ruang hampa untuk menghindari oksidasi lapisan pengikat yang mempengaruhi kualitas pengikatan. Sedangkan untuk pengemasan target logam, kami bersikeras bahwa persyaratan minimumnya adalah mengemasnya dalam kantong plastik bersih. Di bawah penulis Beijing Richmat untuk berbagi dengan Anda tentang apa saja keterampilan penyimpanan dan pemeliharaan target paduan
Keterampilan perawatan tentang target paduan adalah sebagai berikut:
Untuk menghindari korsleting dan busur akibat rongga yang tidak bersih dalam proses sputtering, pusat jalur sputtering dan kedua sisi akumulasi sputtering perlu dihilangkan, yang juga membantu pengguna untuk melanjutkan kepadatan daya sputtering maksimum.
Langkah 1: Bersihkan dengan kain bebas bulu yang dibasahi aseton;
Langkah 2: Bersihkan dengan alkohol serupa dengan langkah 1;
Langkah 3: Cuci dengan air deionisasi. Setelah dibersihkan dengan air deionisasi, target dimasukkan ke dalam oven hingga kering pada suhu 100 derajat Celcius selama 30 menit. Target oksida dan keramik dibersihkan dengan “kain tanpa flanel”.
Langkah 4: setelah menghilangkan area berdebu, argon dengan tekanan tinggi dan gas kelembaban rendah digunakan untuk menyiram target untuk menghilangkan semua partikel pengotor yang dapat membentuk busur dalam sistem sputtering.
Waktu posting: 07 Juni 2022