Dengan berkembangnya teknologi industri, kualitas target yang dibutuhkan untuk produksi industri juga semakin tinggi, karena kualitas target secara langsung mempengaruhi kinerja film sputtering magnetron.Saat ini, perusahaan umumnya lebih suka menggunakan target kepadatan tinggi dengan struktur komposisi seragam untuk pelapisan sputtering ketika membeli target, sehingga dapat mengurangi beberapa jahitan target dan meningkatkan kualitas pelapisan sputtering. Oleh karena itu, hal ini mengharuskan produsen target untuk secara ketat mengontrol kualitas target.Sekarang biarkan editor BeijingRichmatmembawa Anda untuk memahami faktor apa saja yang mempengaruhi kualitas target.
1、Pengaruh parameter proses terhadap kualitas target
Parameter proses terutama mencakup tekanan pengepresan dingin, kecepatan tekanan dan kecepatan pembongkaran serta parameter lainnya.Ketika target ditekan dengan dingin, tekanan tersebut akan secara langsung mempengaruhi kualitas target kosong;Kecepatan tekanan mempunyai dampak yang besar pada stratifikasi blanko target, dan keadaan awal ketika serbuk diisi secara merata ke dalam cetakan negatif adalah keadaan longgar, yang memiliki banyak pori-pori dan gas, dan pelepasan gas memerlukan waktu yang lama. waktu.
2、ItuPengaruh cetakan pada kualitas target
Cetakan juga mempunyai pengaruh tertentu terhadap pembentukan target blank. Faktor-faktor yang mempengaruhi utama termasuk permukaan akhir bagian dalam cetakan, celah antara pukulan dan rongga cetakan, dll. Jika celahnya terlalu besar, akan terjadi aliran serbuk dan kebocoran bubuk, yang akan membuat kepadatan marjinal cetakan blanko rendah, dan masalah kualitas seperti tepi jatuh selama proses demoulding.
3、Pengaruh kadar air bahan terhadap kualitas target
Kelembapan yang terkandung dalam bubuk bahan target setara dengan efek pelumas, dan kehadirannya dapat mengurangi gesekan antar partikel, yang kondusif untuk transmisi tekanan pengepresan dingin yang efektif, dan juga kondusif untuk memperlancar selip dan penataan ulang antar partikel bubuk.Namun bila kadar air terlalu sedikit atau terlalu banyak akan mempengaruhi kualitas target.
Bila kadar air dalam bubuk ITO kurang dari 2%, kemungkinan masalah kualitas seperti kehilangan tepi dan delaminasi bahan target akan sangat meningkat bila kondisi lain seperti tekanan pengepresan dingin dan kandungan pengikat sama. Ketika air kandungan bubuk ITO lebih dari 10%, pada tekanan pengepresan dingin yang sama, kandungan pengikat dan kondisi lainnya, meskipun partikel bubuk lebih mudah tergelincir dan tersusun ulang, air dikeluarkan dari dalam cetakan, yang akan menyebabkan masalah jatuh. tepi di sekitar bagian kosong bahan sasaran.Hasilnya menunjukkan bahwa bila kadar air bubuk antara 3% dan 6%, kualitas blanko dapat dikontrol secara efektif.
4、Pengaruh konten pengikat pada kualitas target
Jumlah bahan pengikat yang dimasukkan mempunyai pengaruh yang besar terhadap kualitas bahan target. Bila jumlah penggabungan kurang dari 1%, target blank akan mengalami masalah kualitas yang sangat serius, pada saat ini efek pengikat tidak terlihat, dan tidak banyak berpengaruh pada peningkatan kekuatan target blank.Dengan peningkatan penggabungan pengikat menjadi 2% dan 3%, kekuatan material target ditingkatkan, dan masalah kualitas material target sangat berkurang. Namun, jika pengikat dimasukkan hingga 4%, meskipun masalah kualitas bahan target blanko yang dipres dingin hilang, bahan target kadang-kadang mengalami delaminasi selama proses pembongkaran berikutnya.
Waktu posting: 22 April-2022