Saat ini, di produsen target percikan utama dunia, terdapat dua metode berbeda untuk pembuatan target percikan paduan aluminium. Salah satunya adalah memilih metode pengecoran untuk pembuatan ingot, kemudian melakukan proses pengecoran. Yang lainnya dibuat dengan cetakan semprot. Biarkan editor Beijing berbaikan untuk Anda berbagi, tentang proses pembuatan target paduan aluminium titanium apa yang masuk akal.
Sejauh menyangkut metode pengecoran / pengecoran yang diketahui, ketika membuat target sputtering paduan aluminium, target sputtering paduan aluminium sering kali mengalami pemisahan karena penambahan elemen paduan, sehingga menghasilkan kualitas film tergagap yang buruk, dan partikel mikro. mudah terjadi pada permukaan target sputtering, yang juga akan mempengaruhi keseragaman sifat film; Namun, jika metode pembentukan semprotan yang diketahui digunakan untuk memproduksi target sputtering paduan aluminium, meskipun cacat terkait yang disebutkan di atas dapat terjadi dapat dicegah maka biaya pembuatan target sputtering akan sangat meningkat, terutama bila pembuatan beberapa target sputtering yang tidak mudah dituang dan harus dilakukan pengepresan panas, biaya akan ditingkatkan dengan menggunakan pengepresan panas.
Untuk membuat proses pembuatan target paduan aluminium titanium lebih mudah dan biaya lebih rendah, metode pembuatan target sputtering paduan aluminium dengan bubuk semprotan udara diperkenalkan di sini. Prinsipnya mengacu pada bubuk bahan target sputtering dibuat dengan metode semprotan udara sesuai dengan rasio komposisi paduan, dan kemudian bubuk paduan disaring untuk mendapatkan ukuran partikel bubuk yang sesuai. Akhirnya, bubuk tersebut ditekan secara vakum panas untuk membuat target sputtering paduan aluminium.
Metode pembuatan target percikan paduan aluminium dengan bubuk semprotan udara ini dapat digunakan untuk pembuatan berbagai target percikan paduan aluminium (aluminium kromium, aluminium silikon tembaga, aluminium titanium, dll.). Langkah-langkah implementasi yang disukai adalah: memasok bahan logam untuk pembuatan target percikan paduan aluminium dan meleburnya menjadi lelehan logam; Kemudian, logam cair dibuat menjadi bubuk logam dengan metode semprotan udara; Akhirnya, bubuk logam dibentuk dengan pengepresan vakum panas untuk membuat target sputtering paduan aluminium, dan gas inert dimasukkan sebagai gas pemeliharaan. Metode ini dapat mencegah segregasi data dan cacat partikel mikro, serta menghasilkan target sputtering berkualitas tinggi dengan lebih cepat dan murah.
Waktu posting: 01 Juni 2022