Logam tungsten tahan api dan paduan tungsten memiliki keunggulan stabilitas suhu tinggi, ketahanan tinggi terhadap migrasi elektron, dan koefisien emisi elektron yang tinggi. Target tungsten dan paduan tungsten dengan kemurnian tinggi terutama digunakan untuk membuat elektroda gerbang, kabel sambungan, lapisan penghalang difusi sirkuit terpadu semikonduktor. Mereka memiliki persyaratan yang sangat tinggi terhadap kemurnian, kandungan unsur pengotor, kepadatan, ukuran butir dan struktur butir bahan yang seragam. Mari kita lihat faktor-faktor yang mempengaruhi persiapan target tungsten dengan kemurnian tinggiby Rich Bahan Khusus Co, Ltd.
I. Pengaruh Suhu Sintering
Proses pembentukan embrio target tungsten biasanya dilakukan dengan tekanan isostatik dingin. Butir tungsten akan tumbuh selama sintering. Pertumbuhan butiran tungsten akan mengisi celah antar batas kristal, sehingga meningkatkan kepadatan target tungsten. Dengan bertambahnya waktu sintering, peningkatan kepadatan target tungsten melambat secara bertahap. Alasan utamanya adalah kualitas bahan target tungsten tidak banyak berubah setelah beberapa kali proses sintering. Karena sebagian besar rongga di batas kristal diisi oleh kristal tungsten, laju perubahan ukuran keseluruhan target tungsten sangat kecil setelah setiap proses sintering, yang mengakibatkan ruang terbatas untuk meningkatkan kepadatan target tungsten. Saat sintering berlangsung, butiran tungsten besar diisi ke dalam rongga, menghasilkan target yang lebih padat dengan ukuran lebih kecil.
2. Pengaruhhmakan pelestarian Waktu
Pada suhu sintering yang sama, kekompakan bahan target tungsten meningkat seiring dengan bertambahnya waktu sintering. Dengan bertambahnya waktu sintering, ukuran butir tungsten meningkat, dan dengan bertambahnya waktu sintering, faktor pertumbuhan ukuran butir melambat secara bertahap. Hal ini menunjukkan bahwa peningkatan waktu sintering juga dapat meningkatkan kinerja target tungsten.
3. Pengaruh Rolling pada Target Pkinerja
Untuk meningkatkan kepadatan bahan target tungsten dan mendapatkan struktur pemrosesan bahan target tungsten, penggulungan bahan target tungsten pada suhu sedang harus dilakukan di bawah suhu rekristalisasi. Ketika suhu penggulungan target blank tinggi, struktur serat target blank lebih tebal, sedangkan target blank lebih halus. Ketika hasil pengerolan panas di atas 95%. Meskipun perbedaan struktur serat yang disebabkan oleh perbedaan butiran asli sintering atau temperatur penggulungan akan dihilangkan, struktur serat yang lebih homogen akan terbentuk di dalam target, sehingga semakin tinggi laju pemrosesan penggulungan hangat, semakin baik kinerja target.
Waktu posting: 05-Mei-2022