Bahan target yang tergagap memiliki persyaratan yang tinggi selama penggunaan, tidak hanya untuk kemurnian dan ukuran partikel, tetapi juga untuk ukuran partikel yang seragam. Persyaratan yang tinggi ini membuat kami lebih memperhatikan saat menggunakan bahan target sputtering.
1. Persiapan penyemprotan
Sangat penting untuk menjaga kebersihan ruang vakum terutama sistem sputtering. Pelumas, debu, dan residu dari pelapisan sebelumnya dapat mengakumulasi polutan seperti air, yang secara langsung mempengaruhi ruang hampa dan meningkatkan kemungkinan kegagalan pembentukan lapisan film. Hubungan pendek, busur api target, permukaan pembentuk film yang kasar, dan kotoran kimia yang berlebihan biasanya disebabkan oleh ruang sputtering, senjata, dan target yang tidak bersih.
Untuk menjaga karakteristik komposisi lapisan, gas sputtering (argon atau oksigen) harus bersih dan kering. Setelah memasang media di ruang sputtering, udara perlu diekstraksi untuk mencapai tingkat vakum yang diperlukan untuk proses tersebut.
2. Sasaran pembersihan
Tujuan dari pembersihan target adalah untuk menghilangkan debu atau kotoran yang mungkin ada pada permukaan target.
3. Pemasangan sasaran
Hal terpenting yang harus diperhatikan selama proses pemasangan material target adalah memastikan sambungan termal yang baik antara material target dengan dinding pendingin sputtering gun. Jika dinding pendingin atau pelat belakang melengkung parah, hal ini dapat menyebabkan retak atau bengkok selama pemasangan material target. Perpindahan panas dari target belakang ke material target akan sangat terpengaruh, mengakibatkan ketidakmampuan untuk menghilangkan panas selama sputtering, yang pada akhirnya menyebabkan retak atau penyimpangan pada material target.
4. Sirkuit pendek dan inspeksi penyegelan
Setelah pemasangan bahan target, perlu untuk memeriksa korsleting dan penyegelan seluruh katoda. Disarankan untuk menggunakan ohmmeter dan megohmmeter untuk menentukan apakah katoda mengalami hubungan pendek. Setelah dipastikan katoda tidak mengalami korsleting, dapat dilakukan deteksi kebocoran dengan menyuntikkan air ke dalam katoda untuk mengetahui apakah ada kebocoran.
5. Bahan target sebelum sputtering
Disarankan untuk menggunakan gas argon murni untuk pra-sputtering bahan target, yang dapat membersihkan permukaan bahan target. Disarankan untuk meningkatkan daya sputtering secara perlahan selama proses pra sputtering untuk bahan target. Kekuatan bahan target keramik
Waktu posting: 19 Oktober 2023