Karena stabilitas suhu tinggi, ketahanan migrasi elektron yang tinggi, dan koefisien emisi elektron yang tinggi dari tungsten tahan api dan paduan tungsten, target tungsten dan paduan tungsten dengan kemurnian tinggi terutama digunakan untuk pembuatan elektroda gerbang, kabel sambungan, lapisan penghalang difusi, dll. sirkuit terpadu, dan memiliki persyaratan tinggi untuk kemurnian, kandungan unsur pengotor, kepadatan, ukuran butir dan keseragaman struktur butir bahan. Sekarang mari kita lihat faktor-faktor yang mempengaruhi persiapan target tungsten dengan kemurnian tinggi.
1[UNK] Pengaruh suhu sintering
Proses pembentukan embrio target tungsten umumnya dilakukan dengan pengepresan isostatik dingin. Butir tungsten akan tumbuh selama proses sintering. Pertumbuhan butiran tungsten akan mengisi celah antar batas butir, sehingga meningkatkan kepadatan target tungsten. Dengan bertambahnya waktu sintering, peningkatan kepadatan target tungsten secara bertahap melambat. Alasan utamanya adalah setelah beberapa kali sintering, kualitas target tungsten tidak banyak berubah. Karena sebagian besar rongga di batas butir diisi dengan kristal tungsten, setelah setiap sintering, laju perubahan ukuran keseluruhan target tungsten sangat kecil, sehingga ruang terbatas untuk meningkatkan kepadatan target tungsten. Dengan proses sintering, butiran tungsten yang tumbuh diisi ke dalam rongga, menghasilkan kepadatan target yang lebih tinggi dengan ukuran partikel yang lebih kecil.
2[UNK] Pengaruh waktu penahanan
Pada suhu sintering yang sama, kekompakan target tungsten akan ditingkatkan dengan perpanjangan waktu penahanan sintering. Dengan bertambahnya waktu penahanan maka ukuran butir tungsten akan bertambah, dan dengan bertambahnya waktu penahanan maka waktu pertumbuhan ukuran butir secara bertahap akan melambat, yang berarti peningkatan waktu penahanan juga dapat meningkatkan kinerja. sasaran tungsten.
3[UNK] Pengaruh bergulir pada properti target
Untuk meningkatkan kepadatan bahan target tungsten dan mendapatkan struktur pemrosesan bahan target tungsten, penggulungan bahan target tungsten pada suhu sedang harus dilakukan di bawah suhu rekristalisasi. Jika suhu penggulungan billet target tinggi maka struktur serat billet target akan menjadi kasar, begitu pula sebaliknya. Ketika kecepatan penggulungan hangat mencapai lebih dari 95%. Meskipun perbedaan struktur serat yang disebabkan oleh butiran asli yang berbeda atau temperatur penggulungan yang berbeda akan dihilangkan, namun struktur internal target akan membentuk struktur serat yang relatif seragam, sehingga semakin tinggi laju pemrosesan penggulungan hangat, semakin baik kinerja target.
Waktu posting: 15 Februari-2023