Untuk mendukung industri sensor piezoelektrik MEMS (pMEMS) berbasis film dan komponen filter frekuensi radio (RF), paduan aluminium skandium yang diproduksi oleh Rich Special Material Co., Ltd. secara khusus digunakan untuk deposisi reaktif film aluminium nitrida yang didoping skandium. .
Bahan piezoelektrik film tipis semakin banyak digunakan dalam peralatan elektronik otomotif, industri dan pribadi. Aplikasinya mencakup sensor sidik jari berbasis pmt dan perangkat pengenalan gerakan, mikrofon MEMS, sensor kimia berbasis resonator, dan sensor medis. Selain itu, film aluminium nitrida yang didoping skandium semakin dibutuhkan untuk mewujudkan filter RF untuk aplikasi jaringan 5G. Pada saat yang sama, jumlah paduan aluminium skandium meningkat.
Sifat Paduan Al Sc
Homogenitas kimia yang sangat konsisten di seluruh paduan
Homogenitas kimia film yang sangat konsisten sepanjang masa pakai chip dan paduan
Kemurnian>99,9%, kandungan oksigen rendah, kandungan polutan kritis rendah
Kontrol struktur mikro secara ketat untuk mencapai kinerja sputtering terbaik
Cetakan vakum, paduan padat penuh dengan daya rekat rendah, variabilitas rendah, dan granularitas rendah
Rich Special Material Co., Ltd. mendukung berbagai peleburan paduan, penyesuaian target, dan layanan R&D.
Waktu posting: 11 November 2022