Ինչպես բարելավել մոլիբդենի թիրախային նյութերի օգտագործման մակարդակը

Սփռված մոլիբդենի թիրախները լայնորեն օգտագործվել են էլեկտրոնիկայի արդյունաբերության, արևային մարտկոցների, ապակու ծածկույթի և այլ ոլորտներում՝ իրենց բնորոշ առավելությունների շնորհիվ: Մանրացման, ինտեգրման, թվայնացման և հետախուզության ժամանակակից տեխնոլոգիաների արագ զարգացման հետ մեկտեղ մոլիբդենի թիրախների օգտագործումը կշարունակի աճել, և դրանց որակի պահանջները նույնպես գնալով բարձրանալու են: Այսպիսով, մենք պետք է ուղիներ գտնենք մոլիբդենի թիրախների օգտագործման մակարդակը բարելավելու համար: Այժմ RSM-ի խմբագիրը կներկայացնի մի քանի մեթոդներ՝ բոլորի համար մոլիբդենային մոլիբդենի թիրախների օգտագործման արագությունը բարելավելու համար։

1. Հետևի կողմում ավելացրեք էլեկտրամագնիսական կծիկ

Թրթված մոլիբդենային թիրախի օգտագործման արագությունը բարելավելու համար էլեկտրամագնիսական կծիկ կարող է ավելացվել հարթ Մագնետրոն մոլիբդենային մոլիբդենային թիրախի հակառակ կողմում, և մոլիբդենի թիրախի մակերեսի մագնիսական դաշտը կարող է մեծացվել՝ ավելացնելով հոսանքը: էլեկտրամագնիսական կծիկ, որպեսզի բարելավվի մոլիբդենի թիրախի օգտագործման արագությունը:

2. Ընտրեք խողովակային պտտվող թիրախային նյութ

Համեմատած հարթ թիրախների հետ՝ խողովակային պտտվող թիրախային կառուցվածք ընտրելը ընդգծում է դրա էական առավելությունները: Ընդհանուր առմամբ, հարթ թիրախների օգտագործման մակարդակը կազմում է ընդամենը 30% -ից 50%, մինչդեռ խողովակային պտտվող թիրախների օգտագործման մակարդակը կարող է հասնել ավելի քան 80%: Ավելին, երբ օգտագործվում է պտտվող խոռոչ խողովակ Magnetron sputtering թիրախը, քանի որ թիրախը կարող է անընդհատ պտտվել ֆիքսված ձողաձողային մագնիսական հավաքույթի շուրջ, դրա մակերեսի վրա վերաբնակեցում չի լինի, ուստի պտտվող թիրախի կյանքը սովորաբար ավելի քան 5 անգամ ավելի է: քան ինքնաթիռի թիրախը:

3. Փոխարինեք նոր ցողման սարքավորումներով

Թիրախային նյութերի օգտագործման արագության բարելավման բանալին ցողման սարքավորումների փոխարինումն ավարտին հասցնելն է: Մոլիբդենի ցողման թիրախային նյութի ցրման գործընթացում ջրածնի իոնների հարվածից հետո վակուումային ատոմների մոտ մեկ վեցերորդը նստում է վակուումային խցիկի պատին կամ բրա վրա, ինչը մեծացնում է վակուումային սարքավորումների մաքրման և անգործության ծախսերը: Այսպիսով, նոր ցողման սարքավորումների փոխարինումը կարող է նաև օգնել բարելավել մոլիբդենի ցողման թիրախների օգտագործման արագությունը: