Ուլտրա բարձր մաքրության ալյումինե ցողման թիրախների բնութագրերը

Վերջին տարիներին, ինտեգրալ սխեմաների (IC) տեխնոլոգիայի առաջընթացի հետ մեկտեղ, ինտեգրալ սխեմաների հարակից կիրառությունները արագորեն զարգացել են: Գերբարձր մաքրության ալյումինե համաձուլվածքի ցողման թիրախը, որպես օժանդակ նյութ ինտեգրալ սխեմաների մետաղական փոխկապակցումների արտադրության մեջ, դարձել է վերջին ներքին հետազոտությունների թեժ թեմա: RSM-ի խմբագիրը մեզ ցույց կտա բարձր մաքրության ալյումինե համաձուլվածքի ցողման թիրախի բնութագրերը:

Մագնետրոնային ցողման թիրախի ցրման արդյունավետությունը հետագա բարելավման և ավանդադրված թաղանթների որակն ապահովելու համար, մեծ թվով փորձեր ցույց են տալիս, որ կան որոշակի պահանջներ գերբարձր մաքրության ալյումինե համաձուլվածքի ցողման թիրախի բաղադրության, միկրոկառուցվածքի և հատիկի կողմնորոշման համար:

Հացահատիկի չափը և թիրախի հատիկի կողմնորոշումը մեծ ազդեցություն ունեն IC թաղանթների պատրաստման և հատկությունների վրա: Արդյունքները ցույց են տալիս, որ նստվածքի արագությունը նվազում է հացահատիկի չափի մեծացման հետ. Նույն բաղադրությամբ ցրող թիրախի համար փոքր հատիկավոր թիրախի ցողման արագությունն ավելի արագ է, քան մեծ հատիկավոր թիրախը. Որքան միատեսակ է թիրախի հատիկի չափը, այնքան ավելի միատեսակ է նստած թաղանթների հաստության բաշխումը:

Միևնույն թրթռման գործիքի և գործընթացի պարամետրերի դեպքում Al Cu համաձուլվածքի թիրախի թրթռման արագությունը մեծանում է ատոմային խտության աճով, բայց այն ընդհանուր առմամբ կայուն է տիրույթում: Հացահատիկի չափի ազդեցությունը ցողման արագության վրա պայմանավորված է ատոմային խտության փոփոխությամբ՝ հատիկի չափի փոփոխությամբ. Տեղադրման արագության վրա հիմնականում ազդում է Al Cu խառնուրդի թիրախի հատիկի կողմնորոշումը: (200) բյուրեղային հարթությունների համամասնության ապահովման հիման վրա (111), (220) և (311) բյուրեղային հարթությունների համամասնության ավելացումը կբարձրացնի նստեցման արագությունը:

Գերբարձր մաքրության ալյումինե համաձուլվածքի թիրախների հատիկի չափը և հատիկի կողմնորոշումը հիմնականում ճշգրտվում և վերահսկվում են ձուլակտորների համասեռացման, տաք մշակման և վերաբյուրեղացման հյուսման միջոցով: Վաֆլի չափը մինչև 20,32 սմ (8 դյույմ) և 30,48 սմ (12 դյույմ) զարգացնելով, թիրախի չափը նույնպես մեծանում է, ինչը ավելի բարձր պահանջներ է առաջադրում ալյումինի ալյումինի համաձուլվածքի գերբարձր մաքրության ցրման թիրախների համար: Թաղանթի որակը և բերքատվությունն ապահովելու համար թիրախային մշակման պարամետրերը պետք է խստորեն վերահսկվեն, որպեսզի թիրախային միկրոկառուցվածքը միատեսակ լինի, և հատիկի կողմնորոշումը պետք է ունենա ուժեղ (200) և (220) հարթ հյուսվածքներ: