Թրթռման թիրախների կիրառման դաշտերը

Ինչպես բոլորս գիտենք, կան ցայտող թիրախների բազմաթիվ բնութագրեր, և դրանց կիրառման դաշտերը նույնպես շատ լայն են: Տարբեր ոլորտներում սովորաբար օգտագործվող թիրախների տեսակները նույնպես տարբեր են: Այսօր եկեք իմանանք RSM-ի խմբագրի հետ շփոթող թիրախային կիրառական դաշտերի դասակարգման մասին:

　　1, Թրթռման թիրախի սահմանում

Սփրթինգը բարակ թաղանթային նյութերի պատրաստման հիմնական տեխնոլոգիաներից է։ Այն օգտագործում է իոնային աղբյուրի կողմից արտադրված իոնները՝ արագացնելու և վակուումում հավաքելու համար, որպեսզի ձևավորի բարձր արագությամբ իոնային ճառագայթ, ռմբակոծում է պինդ մակերեսը, և իոնները փոխանակում են կինետիկ էներգիան պինդ մակերեսի ատոմների հետ, այնպես որ պինդի ատոմները մակերեսը առանձնացված է պինդից և դրվում է ենթաշերտի մակերեսին: Ռմբակոծված պինդ նյութը հումք է թաղման արդյունքում նստած բարակ թաղանթի պատրաստման համար, որը կոչվում է ցրման թիրախ:

　　2, Թրթուրման թիրախային կիրառական դաշտերի դասակարգում

　1. Կիսահաղորդչային թիրախ

(1) Ընդհանուր թիրախներ. այս ոլորտում ընդհանուր թիրախները ներառում են բարձր հալման կետով մետաղներ, ինչպիսիք են տանտալը / պղինձը / տիտանը / ալյումինը / ոսկին / նիկելը:

(2) Օգտագործում. հիմնականում օգտագործվում է որպես հիմնական հումք ինտեգրալ սխեմաների համար:

(3) Կատարման պահանջներ՝ բարձր տեխնիկական պահանջներ մաքրության, չափի, ինտեգրման և այլնի համար:

　　2. Թիրախ հարթ վահանակի ցուցադրման համար

(1) Ընդհանուր թիրախներ. այս ոլորտում ընդհանուր թիրախները ներառում են ալյումին / պղինձ / մոլիբդեն / նիկել / նիոբիում / սիլիցիում / քրոմ և այլն:

(2) Օգտագործում. այս տեսակի թիրախը հիմնականում օգտագործվում է տարբեր տեսակի լայնածավալ ֆիլմերի համար, ինչպիսիք են հեռուստացույցները և նոթատետրերը:

(3) Կատարման պահանջներ՝ բարձր պահանջներ մաքրության, մեծ տարածքի, միատեսակության և այլն:

　　3. Թիրախային նյութ արևային մարտկոցի համար

(1) Ընդհանուր թիրախներ՝ ալյումին / պղինձ / մոլիբդեն / քրոմ / ITO / Ta և արևային բջիջների այլ թիրախներ:

(2) Օգտագործում. հիմնականում օգտագործվում է «պատուհանի շերտում», խոչընդոտ շերտում, էլեկտրոդում և հաղորդիչ ֆիլմում:

(3) Կատարման պահանջներ. բարձր տեխնիկական պահանջներ և կիրառման լայն շրջանակ:

　　4. Տեղեկատվության պահպանման թիրախ

(1) Ընդհանուր թիրախներ՝ կոբալտի / նիկելի / ֆեռոլամուղի / քրոմի / տելուրիումի / սելենի և տեղեկատվության պահպանման այլ նյութերի ընդհանուր թիրախներ:

(2) Օգտագործում. այս տեսակի թիրախային նյութը հիմնականում օգտագործվում է օպտիկական սկավառակի և օպտիկական սկավառակի մագնիսական գլխի, միջին շերտի և ստորին շերտի համար:

(3) Կատարման պահանջներ. պահանջվում է պահեստավորման բարձր խտություն և փոխանցման բարձր արագություն:

　　5. Թիրախ գործիքի փոփոխության համար

(1) Ընդհանուր թիրախներ. ընդհանուր թիրախներ, ինչպիսիք են տիտանը / ցիրկոնիումը / քրոմ ալյումինի համաձուլվածքը, որը ձևափոխված է գործիքներով:

(2) Օգտագործում. սովորաբար օգտագործվում է մակերեսի ամրապնդման համար:

(3) Կատարման պահանջներ՝ բարձր կատարողական պահանջներ և երկար սպասարկման ժամկետ:

　　6. Էլեկտրոնային սարքերի թիրախներ

(1) Ընդհանուր թիրախներ՝ ընդհանուր ալյումինե խառնուրդ / սիլիցիդի թիրախներ էլեկտրոնային սարքերի համար

(2) Նպատակը. սովորաբար օգտագործվում է բարակ թաղանթով դիմադրիչների և կոնդենսատորների համար:

(3) Կատարման պահանջներ՝ փոքր չափսեր, կայունություն, ցածր դիմադրության ջերմաստիճանի գործակից