Mik a porlasztási célpontok? Miért olyan fontos a cél?

A félvezetőipar gyakran látja a célanyagok kifejezést, amelyek ostyaanyagokra és csomagolóanyagokra oszthatók. A csomagolóanyagok viszonylag alacsony műszaki korlátokkal rendelkeznek az ostyagyártáshoz képest. Az ostyák gyártási folyamata elsősorban 7 féle félvezető anyagot és vegyszert foglal magában, köztük egyfajta porlasztó célanyagot. Tehát mi a célanyag? Miért olyan fontos a célanyag? Ma arról fogunk beszélni, hogy mi a célanyag!

Mi a célanyag?

Egyszerűen fogalmazva, a célanyag az a célanyag, amelyet nagy sebességű töltött részecskék bombáznak. Különböző célanyagok (például alumínium, réz, rozsdamentes acél, titán, nikkel céltárgyak stb.) cseréjével különböző filmrendszerek (például szuperkemény, kopásálló, korróziógátló ötvözet fóliák stb.) nyerhetők.

Jelenleg a (tiszta) porlasztó célanyagok a következőkre oszthatók:

1) Fémcélok (tiszta fém alumínium, titán, réz, tantál stb.)

2) Ötvözetcélok (nikkel-krómötvözet, nikkel-kobaltötvözet stb.)

3) Kerámiavegyület célpontok (oxidok, szilicidek, karbidok, szulfidok stb.).

Különböző kapcsolók szerint felosztható: hosszú céltábla, négyzet alakú és kör alakú céltábla.

Különböző alkalmazási területek szerint felosztható: félvezető chip-célpontok, lapos kijelző-célpontok, napelem-célpontok, információtároló célpontok, módosított célok, elektronikus eszközök célpontjai és egyéb célok.

Ha ezt megnézi, meg kellett volna értenie a nagy tisztaságú porlasztó céltárgyakat, valamint a fémcélpontokban használt alumíniumot, titánt, rézt és tantált. A félvezető lapkák gyártásában általában az alumínium eljárás a fő módszer a 200 mm-es (8 hüvelyk) és az alatti ostyák gyártásához, és a felhasznált célanyagok elsősorban alumínium és titán elemek. 300 mm-es (12 hüvelykes) lapkagyártás, többnyire fejlett réz összekapcsolási technológiával, főként réz és tantál céltárgyak felhasználásával.

Mindenkinek meg kell értenie, mi a célanyag. Összességében a chip-alkalmazások bővülésével és a forgácspiac növekvő keresletével minden bizonnyal növekedni fog a kereslet az iparág négy fő vékonyrétegű fémanyaga, nevezetesen az alumínium, a titán, a tantál és a réz iránt. És jelenleg nincs más megoldás, ami helyettesítheti ezt a négy vékonyrétegű fémanyagot.