1、 Porlasztás előkészítése
Nagyon fontos a vákuumkamra, különösen a porlasztórendszer tisztán tartása. A kenőolaj, a por és a korábbi bevonat által képződött maradványok összegyűjtik a vízgőzt és más szennyező anyagokat, amelyek közvetlenül befolyásolják a vákuum mértékét és növelik a filmképződés meghibásodásának lehetőségét. A rövidzárlatot vagy a cél ívét, az érdes filmfelületet és a túlzott kémiai szennyeződéseket gyakran a tisztátalan porlasztókamra, porlasztópisztoly és céltárgy okozza. A bevonat összetételi jellemzőinek betartása érdekében a porlasztógázt (argon vagy oxigén) meg kell tisztítani és szárítani. Miután a szubsztrátot behelyezték a porlasztókamrába, a levegőt el kell távolítani, hogy elérje a folyamat által igényelt vákuumot. A sötét területen lévő árnyékoló burkolatot, az üreg falát és a szomszédos felületet is tisztán kell tartani. A vákuumkamra tisztítása során javasoljuk a poros részek kezeléséhez üveggolyós sörétszórást, sűrített levegővel együtt a kamra körüli korai porlasztási maradványok eltávolítását, majd a külső felület csendes polírozását alumínium-oxiddal impregnált csiszolópapírral. A gézpapír polírozása után alkohollal, acetonnal és ionmentesített vízzel megtisztítják. Együtt szorgalmazza az ipari porszívók használatát kiegészítő tisztításhoz. A Gaozhan metal által gyártott céltárgyakat vákuumzárású műanyag zacskókba csomagolják,
Beépített nedvességálló szer. A céltárgy használatakor ne érintse meg közvetlenül a célpontot a kezével. Megjegyzés: a céltárgy használatakor viseljen tiszta és szöszmentes karbantartó kesztyűt. Soha ne érintse meg közvetlenül a célpontot a kezével
2、 Céltisztítás
A céltárgy tisztításának célja a céltárgy felületén esetlegesen előforduló por vagy szennyeződés eltávolítása.
A fémtárgy négy lépésben tisztítható,
Az első lépés az, hogy acetonba mártott, szöszmentes, puha ruhával tisztítsa meg;
A második lépés hasonló az első lépéshez, alkoholos tisztítás;
3. lépés: Tisztítsa meg ioncserélt vízzel. Ionmentesített vízzel történő mosás után helyezze a céltárgyat a sütőbe, és szárítsa meg 100 ℃-on 30 percig.
Az oxid- és kerámiatárgyak tisztítását „szöszmentes ruhával” kell végezni.
A negyedik lépés a céltárgy nagynyomású argonnal történő mosása alacsony vízgázzal a poros terület eltávolítása után, hogy eltávolítsa az összes szennyező részecskét, amely ívet képezhet a porlasztórendszerben.
3、 Céleszköz
A céltárgy felszerelése során Z fontos óvintézkedések a jó hővezetési kapcsolat biztosítása a céltárgy és a porlasztópisztoly hűtőfala között. Ha a hűtőrács megvetemedése erős, vagy a hátlap vetemedése erős, a céleszköz megreped vagy meghajlik, és a hővezető képesség a hátsó céltárgytól a célpontig nagymértékben megváltozik, ami a hőelvezetés meghibásodását eredményezi. a porlasztási folyamatban, és a célpont megreped vagy eltéved
A hővezető képesség biztosítása érdekében a katód hűtőfala és a céltárgy közé egy réteg grafitpapír párnázható. Kérjük, ügyeljen arra, hogy gondosan ellenőrizze és tisztázza a használt porlasztópisztoly hűtőfalának síkságát, hogy az O-gyűrű mindig a helyén legyen.
Mivel a felhasznált hűtővíz tisztasága és a berendezés működése során fellépő por lerakódik a katódos hűtővíz tartályban, a katódos hűtővíz tartályt a céltárgy felszerelésekor ellenőrizni és tisztítani kell, hogy biztosítsuk a zökkenőmentes működést. a hűtővíz keringését, és hogy a be- és kimenet ne legyen eltömődve.
Egyes katódok a tervek szerint kis helyet foglalnak el az anóddal, ezért a céltárgy felszerelésekor ügyelni kell arra, hogy a katód és az anód között ne legyen érintkezés vagy vezeték, különben rövidzárlat lép fel.
A célpont helyes kezelésével kapcsolatos információkért olvassa el a berendezés kezelői kézikönyvét. Ha a használati útmutatóban nem szerepel ilyen információ, kérjük, próbálja meg a készüléket a Gaozhan metal vonatkozó javaslatainak megfelelően telepíteni. A célszerelvény meghúzásakor először kézzel húzzon meg egy csavart, majd kézzel húzzon meg egy másik csavart az átlón. Ismételje ezt addig, amíg a készülék összes csavarja meg nem húzódik, majd húzza meg valamivel.
4、 Rövidzárlat és tömítettség ellenőrzése
A céleszköz elkészülte után ellenőrizni kell a teljes katód rövidzárlatát és tömítettségét,
Javasoljuk, hogy ellenállásmérővel állapítsák meg, hogy van-e rövidzárlat a katódban
Soros diszkrimináció. Miután megbizonyosodott arról, hogy nincs rövidzárlat a katódon, elvégezhető a szivárgásérzékelés, és vizet lehet bevezetni a katódba annak ellenőrzésére, hogy van-e vízszivárgás.
5、 Cél előporlasztás
A célpont előporlasztás a tiszta argonporlasztást támogatja, amely megtisztíthatja a céltárgy felületét. A céltárgy előporlasztása esetén javasolt a porlasztási teljesítmény lassú növelése, és a kerámia céltárgy teljesítménynövekedési sebessége 1,5 WH / cm2. A fémcél előporlasztási sebessége nagyobb lehet, mint a kerámia céltömböké, és az ésszerű teljesítménynövekedési sebesség 1,5 WH / cm2.
Az előporlasztás során ellenőriznünk kell a céltárgy ívességét. Az előporlasztási idő általában körülbelül 10 perc. Ha nincs íves jelenség, folyamatosan növelje a porlasztási teljesítményt
A beállított teljesítményre. A tapasztalatok szerint a fémcél elfogadható Z nagy porlasztási ereje
25 watt / cm2, 10 watt / cm2 kerámia céltárgyhoz. Kérjük, olvassa el a vákuumkamra nyomásának beállítási alapját és tapasztalatait a porlasztás során a felhasználói rendszer kezelési útmutatójában. Általában biztosítani kell, hogy a víz hőmérséklete a hűtővíz kimeneténél 35 ℃ alatt legyen, de Z fontos, hogy a hűtővíz keringtető rendszere hatékonyan működjön.
A túlhűtő víz gyors keringése hőt von el, ami fontos garancia a folyamatos, nagy teljesítményű porlasztáshoz. Fém céltárgyak esetében általában javasolt a hűtővíz áramlása
20 l/perc víznyomás körülbelül 5 gmp; Kerámia céltárgyak esetében általában azt javasolják, hogy a víz áramlása 30 l/perc, a víznyomás pedig körülbelül 9 gmp
6、 Cél karbantartás
A porlasztási folyamatban a tisztátalan üreg okozta rövidzárlat és ívképződés elkerülése érdekében a porlasztópálya közepén és mindkét oldalán felgyülemlett porlasztást szakaszosan kell eltávolítani,
Ez abban is segíti a felhasználókat, hogy folyamatosan z nagy teljesítménysűrűség mellett porlogjanak
7. Céltárhely
A Gaozhan metal által biztosított céltárgyakat kétrétegű vákuum műanyag zacskókba csomagolják. Javasoljuk, hogy a felhasználók a céltárgyakat, legyen az fém vagy kerámia, vákuumcsomagolásban tartsák. Különösen a kötőanyagokat vákuum körülmények között kell tárolni, hogy a kötőréteg oxidációja ne befolyásolja a kötés minőségét. A fémtárgyak csomagolásával kapcsolatban azt javasoljuk, hogy a Z-t tiszta műanyag zacskókba csomagolják
Feladás időpontja: 2022. május 13