A tűzálló volfrámfémek és volfrámötvözetek előnyei a magas hőmérsékleti stabilitás, az elektronmigrációval szembeni nagy ellenállás és a magas elektronemissziós együttható. A nagy tisztaságú wolframból és volfrámötvözetből készült céltárgyakat főként félvezető integrált áramkörök kapuelektródák, csatlakozóvezetékek, diffúziós gátrétegek gyártására használják. Nagyon magas követelményeket támasztanak a tisztasággal, a szennyezőelem-tartalommal, a sűrűséggel, a szemcsemérettel és az anyagok egységes szemcseszerkezetével szemben. Vessünk egy pillantást a nagy tisztaságú wolfram céltárgy elkészítését befolyásoló tényezőkreby Rich Special Material Co., Ltd.
I. A szinterezési hőmérséklet hatása
A volfrám célembrió képződési folyamata általában hideg izosztatikus nyomással történik. A volfrámszemcsék a szinterezés során felnőnek. A volfrámszemcsék növekedése kitölti a kristályhatárok közötti rést, így növelve a volfrám célpont sűrűségét. A szinterezési idők növekedésével a wolfram célpont sűrűségének növekedése fokozatosan lelassul. Ennek fő oka, hogy a wolfram célanyag minősége nem sokat változott több szinterezési folyamat után. Mivel a kristály határában lévő üregek nagy részét volfrámkristályok töltik ki, a wolfram céltárgy teljes méretváltozási sebessége minden szinterezési folyamat után nagyon kicsi, ami korlátozott helyet eredményez a wolfram célpont sűrűségének növelésére. A szinterezés előrehaladtával nagy wolframszemcséket töltenek be az üregekbe, ami sűrűbb, kisebb méretű célpontot eredményez.
2. Hatásahenni tartósítási idő
Ugyanezen a szinterezési hőmérsékleten a volfrám célanyag tömörsége a szinterezési idő növekedésével javul. A szinterezési idő növekedésével a wolfram szemcsemérete nő, a szinterezési idő meghosszabbodásával pedig a szemcseméret növekedési faktora fokozatosan lelassul. Ez azt mutatja, hogy a szinterezési idő növelése javíthatja a wolfram célpont teljesítményét is.
3. A gördülés hatása a P célpontrateljesítmény
A volfrám célanyagok sűrűségének javítása és a volfrám célanyagok feldolgozási szerkezetének elérése érdekében a volfrám célanyagok közepes hőmérsékletű hengerlését az átkristályosítási hőmérséklet alatt kell elvégezni. Ha a nyers céldarab hengerlési hőmérséklete magas, a nyers céldarab szálszerkezete vastagabb, míg a céldarabé finomabb. Ha a meleghengerlési hozam 95% felett van. Bár a szálszerkezetben az eltérő szinterezési eredeti szemcse vagy hengerlési hőmérséklet okozta különbség megszűnik, a céltárgy belsejében homogénebb szálszerkezet alakul ki, így minél nagyobb a meleghengerlés feldolgozási sebessége, annál jobb a célpont teljesítménye.
Feladás időpontja: 2022. május 05