A tűzálló wolfram és volfrámötvözetek magas hőmérsékleti stabilitása, nagy elektronmigrációs ellenállása és nagy elektronemissziós együtthatója miatt a nagy tisztaságú volfrám és volfrámötvözet céltárgyakat főként félvezetők kapuelektródáinak, összekötő vezetékeinek, diffúziós gátrétegeinek stb. integrált áramkörök, és magas követelményeket támasztanak a tisztaság, a szennyezőelem-tartalom, a sűrűség, a szemcseméret és a az anyagok szemcseszerkezete egységessége. Most pedig nézzük meg azokat a tényezőket, amelyek befolyásolják a nagy tisztaságú wolfram céltárgy elkészítését.
1、 A szinterezési hőmérséklet hatása
A volfrám célembrió formálási folyamata általában hideg izosztatikus préseléssel történik. A volfrámszemcsék a szinterezési folyamat során megnőnek. A volfrámszemcse növekedése kitölti a szemcsehatárok közötti rést, így javítva a volfrám célpont sűrűségét. A szinterezési idők növekedésével a wolfram célsűrűségének növekedése fokozatosan lelassul. Ennek fő oka az, hogy többszöri szinterezés után a wolfram céltárgy minősége nem sokat változott. Mivel a szemcsehatáron lévő üregek többsége volfrámkristályokkal van megtöltve, minden szinterezés után a wolfram céltárgy teljes méretváltozási sebessége nagyon kicsi volt, ami korlátozott helyet eredményez a wolfram céltárgy sűrűségének növelésére. A szinterezési eljárás során a megnövekedett volfrámszemcsék feltöltődnek az üregekbe, aminek eredményeként a céltárgy nagyobb sűrűsége kisebb szemcseméret mellett.
2、 A tartási idő hatása
Ugyanezen a szinterezési hőmérsékleten a wolfram célpont tömörsége javul a szinterezési tartási idő meghosszabbodásával. A tartási idő meghosszabbodásával a volfrám szemcsemérete nő, a tartási idő meghosszabbodásával pedig a szemcseméret növekedési ideje fokozatosan lelassul, ami azt jelenti, hogy a tartási idő növelése javíthatja a volfrám teljesítményét is. wolfram célpont.
3、 A görgetés hatása a céltulajdonságokra
A wolfram célanyag sűrűségének javítása és a volfrám célanyag feldolgozási szerkezetének elérése érdekében a volfrám célanyag közepes hőmérsékletű hengerlését az átkristályosítási hőmérséklet alatt kell végrehajtani. Ha a megcélzott tuskó hengerlési hőmérséklete magas, akkor a cél tuskó szálszerkezete durva lesz, és fordítva. Amikor a meleghengerlési sebesség eléri a 95%-ot. Bár a szálszerkezetben a különböző eredeti szemcsék vagy a különböző hengerlési hőmérsékletek okozta különbség megszűnik, a céltárgy belső szerkezete viszonylag egységes szálszerkezetet fog kialakítani, így minél nagyobb a meleghengerlés feldolgozási sebessége, annál jobb a célpont teljesítménye.
Feladás időpontja: 2023.02.15