Az elmúlt években az integrált áramkörök (IC) technológia fejlődésével az integrált áramkörök kapcsolódó alkalmazásai gyorsan fejlődtek. Az ultra nagy tisztaságú alumíniumötvözet porlasztásos célpont, mint az integrált áramköri fémösszekötők gyártása során alkalmazott támasztóanyag, a közelmúlt hazai kutatásainak felkapott témájává vált. az RSM szerkesztője megmutatja nekünk a nagy tisztaságú alumíniumötvözet porlasztási célpont jellemzőit.
A magnetron porlasztási célpont porlasztási hatékonyságának további javítása és a leválasztott filmek minőségének biztosítása érdekében számos kísérlet azt mutatja, hogy vannak bizonyos követelmények az ultranagy tisztaságú alumíniumötvözet porlasztó céltárgy összetételére, mikroszerkezetére és szemcse-orientációjára vonatkozóan.
A céltárgy szemcsemérete és szemcse orientációja nagy hatással van az IC filmek elkészítésére és tulajdonságaira. Az eredmények azt mutatják, hogy a lerakódási sebesség a szemcseméret növekedésével csökken; Az azonos összetételű porlasztó céltárgynál a kis szemcseméretű célpont porlasztási sebessége gyorsabb, mint a nagy szemcseméretű célponté; Minél egyenletesebb a céltárgy szemcsemérete, annál egyenletesebb a lerakott filmek vastagságeloszlása.
Azonos porlasztóműszer és folyamatparaméterek mellett az Al Cu ötvözet céltárgy porlasztási sebessége az atomsűrűség növekedésével növekszik, de általában egy bizonyos tartományban stabil. A szemcseméret porlasztási sebességre gyakorolt hatása a szemcseméret változásával az atomsűrűség változásából adódik; A lerakódás sebességét elsősorban az Al Cu ötvözet céltárgy szemcse orientációja befolyásolja. A (200) kristálysíkok arányának biztosítása alapján a (111), (220) és (311) kristálysíkok arányának növelése növeli a lerakódási sebességet.
Az ultra-nagy tisztaságú alumíniumötvözet céltárgyak szemcseméretét és szemcse-orientációját főként rúdhomogenizálással, melegmegmunkálással és átkristályosítási izzítással állítják be és szabályozzák. Az ostya méretének 20,32 cm-re (8 hüvelykre) és 30,48 cm-re (12 hüvelykre) történő fejlesztésével a célméret is növekszik, ami magasabb követelményeket támaszt az ultranagy tisztaságú alumíniumötvözetből készült porlasztó céltárgyakkal szemben. A film minőségének és hozamának biztosítása érdekében szigorúan ellenőrizni kell a megcélzott feldolgozási paramétereket, hogy a cél mikrostruktúra egységes legyen, és a szemcseorientáció erős (200) és (220) sík textúrájú legyen.
Feladás időpontja: 2022. június 30