Nemrég sok barát kérdezett a molibdén porlasztó céltárgyak jellemzőiről. Az elektronikai iparban a porlasztási hatékonyság javítása és a leválasztott fóliák minőségének biztosítása érdekében milyen követelmények vonatkoznak a molibdén porlasztó céltárgyak jellemzőire? Most az RSM műszaki szakértői elmagyarázzák nekünk.
1. Tisztaság
A nagy tisztaság a molibdénporlasztási céltárgy alapvető jellemző követelménye. Minél nagyobb a molibdén célpont tisztasága, annál jobb a porlasztott film teljesítménye. Általában a molibdén porlasztási célpont tisztaságának legalább 99,95%-nak kell lennie (tömeghányad, ugyanez alább). Az LCD-iparban az üveghordozó méretének folyamatos javításával azonban a vezetékek hosszát meg kell hosszabbítani, a vonalszélességet pedig vékonyabbra kell állítani. A fólia egyenletessége és a huzalozás minősége érdekében a molibdén porlasztó célpont tisztaságát is ennek megfelelően növelni kell. Ezért a porlasztott üveghordozó méretétől és a felhasználási környezettől függően a molibdén porlasztási célpont tisztasága 99,99% – 99,999% vagy még magasabb.
A molibdén porlasztó célpontot katódforrásként használják a porlasztásban. A szilárd és oxigén szennyeződések és a pórusokban lévő vízgőz a lerakódott filmek fő szennyező forrásai. Ezenkívül az elektronikai iparban, mivel az alkálifém-ionok (Na, K) könnyen mobilionokká válnak a szigetelőrétegben, az eredeti eszköz teljesítménye csökken; Az olyan elemek, mint az urán (U) és a titán (TI), α röntgensugárzással szabadulnak fel, ami az eszközök lágy tönkremeneteléhez vezet; A vas- és nikkelionok felületszivárgást és oxigénelemek növekedését okozzák. Ezért a molibdén porlasztási céltárgy előkészítési folyamatában ezeket a szennyező elemeket szigorúan ellenőrizni kell, hogy minimálisra csökkentsük tartalmukat a céltárgyban.
2. Szemcseméret és méreteloszlás
Általában a molibdén porlasztási célpont polikristályos szerkezetű, és a szemcseméret mikrontól milliméterig terjedhet. A kísérleti eredmények azt mutatják, hogy a finomszemcsés célpont porlasztási sebessége gyorsabb, mint a durva szemcsecélé; A kis szemcseméret-különbséggel rendelkező céltárgynál a lerakott film vastagságeloszlása is egyenletesebb.
3. Kristály orientáció
Mivel a célatomokat a porlasztás során könnyű előnyösen az atomok legközelebbi elrendezésének irányában, hatszögletű irányban porlasztani, a legnagyobb porlasztási sebesség elérése érdekében a porlasztási sebességet gyakran a céltárgy kristályszerkezetének megváltoztatásával növelik. A porlasztott film vastagságának egyenletességét a céltárgy kristályiránya is nagyban befolyásolja. Ezért nagyon fontos, hogy a film porlasztási folyamatához egy bizonyos kristály orientált célszerkezetet kapjunk.
4. Sűrűsödés
A porlasztásos bevonatolás során a kis sűrűségű porlasztó céltárgy bombázásakor a céltárgy belső pórusaiban lévő gáz hirtelen felszabadul, ami nagy méretű célszemcsék vagy részecskék kifröccsenését, illetve a filmanyag bombázását eredményezi. szekunder elektronok által a filmképződés után, ami részecskék kifröccsenését eredményezi. Ezeknek a részecskéknek a megjelenése rontja a film minőségét. A megcélzott szilárd anyag pórusainak csökkentése és a film teljesítményének javítása érdekében a porlasztó céltárgynak általában nagy sűrűségűnek kell lennie. A molibdénporlasztási cél relatív sűrűségének 98%-nál nagyobbnak kell lennie.
5. A céltárgy és az alváz összekötése
Általában a molibdén porlasztó céltárgyat a porlasztás előtt össze kell kötni az oxigénmentes réz (vagy alumínium és egyéb anyagok) vázával, hogy a céltárgy és a váz hővezető képessége jó legyen a porlasztási folyamat során. A kötés után ultrahangos vizsgálatot kell végezni, hogy megbizonyosodjon arról, hogy a kettő nem kötődő területe 2%-nál kisebb, hogy megfeleljen a nagy teljesítményű, leesés nélküli porlasztás követelményeinek.
Feladás időpontja: 2022. július 19