A film alapú piezoelektromos MEMS (pMEMS) érzékelő és rádiófrekvenciás (RF) szűrőelemek iparának támogatása érdekében a Rich Special Material Co., Ltd. által gyártott alumínium szkandiumötvözetet kifejezetten szkandiummal adalékolt alumínium-nitrid filmek reaktív leválasztására használják. .
A vékonyrétegű piezoelektromos anyagokat egyre gyakrabban használják az autóipari, ipari és személyi elektronikai berendezésekben. Az alkalmazások közé tartoznak a pmt alapú ujjlenyomat-érzékelők és gesztusfelismerő eszközök, a MEMS-mikrofonok, a rezonátor alapú kémiai érzékelők és az orvosi érzékelők. Emellett egyre nagyobb szükség van szkandiummal adalékolt alumínium-nitrid filmekre az 5G hálózati alkalmazások RF szűrőinek megvalósításához. Ezzel párhuzamosan nő az alumínium szkandiumötvözet mennyisége.
Az Al Sc ötvözet tulajdonságai
Nagyon konzisztens kémiai homogenitás az egész ötvözetben
Rendkívül konzisztens filmkémiai homogenitás a forgács és az ötvözet teljes élettartama alatt
Tisztaság>99,9%, alacsony oxigéntartalom, alacsony kritikus szennyezőanyag-tartalom
Szigorúan szabályozza a mikroszerkezetet a legjobb porlasztási teljesítmény elérése érdekében
Vákuumöntvény, teljesen sűrű ötvözet alacsony tapadóképességgel, csekély változékonysággal és kis szemcsésséggel
A Rich Special Material Co., Ltd. számos ötvözet olvasztást, cél szerinti testreszabást és K+F szolgáltatásokat támogat.
Feladás időpontja: 2022. november 11