Pwospektiv devlòpman sib pite kwiv anwo nan syèl la

A pwezan, prèske tout wo-fen ultra-wo pite metal kwiv sib yo mande pa endistri IC yo monopolize pa plizyè gwo konpayi miltinasyonal etranje yo. Tout objektif kwiv ultrapure ki nesesè pa endistri domestik IC a bezwen yo dwe enpòte, ki pa sèlman chè, men tou, konplike nan pwosedi enpòte Se poutèt sa, Lachin ijan bezwen amelyore devlopman ak verifikasyon ultra-wo pite (6N) sib kwiv sputtering. . Ann pran yon gade nan pwen kle yo ak difikilte nan devlopman nan ultra-wo pite (6N) sib kwiv sputtering.

1、Devlopman nan materyèl ultra wo pite

Teknoloji pou pirifye nan gwo-pite Cu, Al ak Ta metal nan Lachin se byen lwen soti nan sa ki nan peyi endistriyèl devlope. Koulye a, pi fò nan metal-wo pite ki ka bay pa ka satisfè kondisyon yo bon jan kalite nan sikui entegre pou sib sputtering dapre konvansyonèl tout metòd analiz eleman nan endistri an. Kantite enklizyon nan sib la twò wo oswa distribye inegalman. Patikil yo souvan fòme sou wafer la pandan sputtering, sa ki lakòz kous kout oswa sikwi louvri nan entèkonekte, ki seryezman afekte pèfòmans nan fim nan.

2、Devlopman teknoloji preparasyon sib kwiv sputtering

Devlopman teknoloji preparasyon sib kwiv sputtering sitou konsantre sou twa aspè: gwosè grenn, kontwòl oryantasyon ak inifòmite. Endistri semi-conducteurs gen kondisyon ki pi wo pou sib sputtering ak evaporasyon matyè premyè. Li gen kondisyon trè strik pou kontwòl gwosè grenn sifas ak oryantasyon kristal sib la. Gwosè grenn sib la dwe kontwole nan 100μ M anba a, Se poutèt sa, kontwòl la nan gwosè grenn jaden ak mwayen yo nan analiz korelasyon ak deteksyon yo trè enpòtan pou devlopman nan sib metal.

3、Devlopman analiz aktès teknoloji

Pite segondè nan sib la vle di rediksyon nan enpurte. Nan tan lontan, plasma endiktif makonnen (ICP) ak spèktrometri absòpsyon atomik yo te itilize pou detèmine enpurte, men nan dènye ane yo, analiz kalite egzeyat lumineux (GDMS) ak pi wo sansiblite te piti piti itilize kòm estanda a. metòd. Metòd RRR rapò rezistans rezidyèl yo itilize sitou pou detèmine pite elektrik la. Prensip detèminasyon li se evalye pite metal debaz lè w mezire degre dispèsyon elektwonik enpurte yo. Paske li se mezire rezistans nan tanperati chanm ak tanperati ki ba anpil, li se senp yo pran nimewo a. Nan dènye ane yo, yo nan lòd yo eksplore sans nan metal, rechèch la sou pite ultra-segondè trè aktif. Nan ka sa a, valè RRR se pi bon fason pou evalye pite a.