Konsiltan teknik nan RSM pral pataje avèk ou avantaj ki genyen nan objektif silendrik ak planar magnetron sputtering? Konpare ak lòt sib sputtering magnetron, sib silendrik ak planar magnetron sputtering kenbe avantaj ki genyen nan bon inifòmite kouch nan objektif rektangilè plan, epi yo ka maksimize itilizasyon sib atravè de fason sa yo:
(1) Lè de gwoup (kat) twou annulaire sou sifas sib la rive nan yon sèten pwofondè, nwayo sib la (pati leman) ka vire 45 ° parapò ak tib sib la, pou lòt zòn sou tib sib la. ki pa te korode ka itilize;
(2) Lè nwayo sib sib silendrik la ak planè magnetron sputtering la fèt kòm yon nwayo sib wotasyon (nwayo sib la ap wotasyon pandan sputtering), sifas sib la ka respire sou kouch pa kouch san twou. Nan moman sa a, sib la pral itilize pi efikasman, ak to itilizasyon sib la ka rive nan 50% ~ 60% Lè materyèl sib la se metal presye, sa a se evidamman nan gwo siyifikasyon.
Lè l sèvi avèk prensip la nan leman ak soulye poto nan sib kowaksyal silendrik magnetron sputtering pou rezoud pwoblèm nan nan fen jaden mayetik, sib la avyon rektangilè ka transfòme nan yon sib silendrik ak planar magnetron sputtering, sib la ka maksimize to itilizasyon sib la. pandan y ap kenbe bon inifòmite kouch nan sib la avyon rektangilè Konsa pou amelyore benefis ekonomik yo.
Lè poste: 04-Jul-2022