Sada sve više i više korisnika razumije vrste meta injegove primjene, ali njegova podjela možda nije baš jasna. Hajdemo sadaRSM inženjer podijeliti s vamaneka indukcija magnetronskih meta za raspršivanje.
Meta za raspršivanje: metalna meta za raspršivanje, meta za presvlačenje legure, meta za keramičko prskanje, meta za raspršivanje od boridne keramike, meta za raspršivanje od karbidne keramike, meta za raspršivanje od fluoridne keramike, meta za raspršivanje od nitridne keramike, meta za raspršivanje od oksidne keramike, meta za raspršivanje od selenidne keramike, silicidna keramička meta za raspršivanje cilj, sulfidna keramička meta za raspršivanje, teluridna keramička meta za raspršivanje, ostale keramičke mete, kromom dopirana keramička meta od silicijevog oksida (CR SiO), meta od indijevog fosfida (INP), meta od olovnog arsenida (pbas), meta od indijevog arsenida (InAs).
Magnetronsko raspršivanje se općenito dijeli na dvije vrste: DC raspršivanje i RF raspršivanje. Princip opreme za raspršivanje istosmjernom strujom je jednostavan, a brzina raspršivanja metala također je velika. RF raspršivanje ima široku primjenu. Osim raspršivanja vodljivih podataka, može raspršivati i nevodljive podatke. Meta za raspršivanje također se može koristiti za reaktivno raspršivanje za pripremu podataka o spojevima kao što su oksidi, nitridi i karbidi. Ako se RF frekvencija poveća, to će postati mikrovalno plazma raspršivanje. Trenutačno se obično koristi raspršivanje mikrovalnom plazmom elektronskom ciklotronskom rezonancijom (ECR).
Vrijeme objave: 26. svibnja 2022