Koji su materijali mete za magnetronsko raspršivanje

Materijal za metalnu metu za raspršivanje, materijal za oblaganje legura za oblaganje, keramički materijal za prevlaku za raspršivanje, borid keramički materijal za metu za raspršivanje, karbidni keramički materijal za metu za raspršivanje, fluoridni keramički materijal za metu za raspršivanje, Nitrid keramički materijal za metu za raspršivanje, oksidnu keramičku metu, selenid keramički materijal za metu za raspršivanje, Silicidni keramički ciljni materijali za prskanje, sulfidni keramički materijal za raspršivanje, Telluride keramički cilj za raspršivanje, drugi keramički cilj, kromom dopirani keramički cilj od silicijevog oksida (CR-SiO), cilj od indijevog fosfida (InP), cilj od olovnog arsenida (PbAs), cilj od indijevog arsenida (InAs).

Ciljni materijali visoke čistoće i visoke gustoće za raspršivanje su:

Materijal mete za prskanje (čistoća: 99,9%-99,999%)

1. Metalna meta:

Cilj nikla, Ni, cilj titana, Ti, cilj cinka, Zn, cilj kroma, Cr, cilj magnezija, Mg, cilj niobija, Nb, cilj kositra, Sn, cilj aluminija, Al, cilj Indija, In, cilj željeza, Fe, Cirkonij aluminijska meta, ZrAl, Titan aluminijska meta, TiAl, Cirkonijska meta, Zr, aluminij-silicijska meta, AlSi, silicijska meta, Si, bakrena meta Cu, tantalova meta T, A, germanijska meta, Ge, srebrna meta, Ag, kobaltna meta, Co, zlatna meta, Au, gadolinijeva meta, Gd, lantanova meta, La, itrijeva meta, Y, meta cerija, Ce, meta volframa, W, meta od nehrđajućeg čelika, nikal-krom meta, NiCr, hafnija meta, Hf, molibdenska meta, Mo, Fe-Ni meta, FeNi, volframova meta, W, itd.

2. Keramički ciljni materijal

ITO meta cilj, željezni oksid, magnezijev oksid cilj, cilj, cilj, silicij karbid silicij nitrid titan nitrid cilj cilj cilj, cilj, cink sulfid, cink oksid, krom oksid, silicij dioksid, cilj, cilj a silicij oksid, cilj cerij oksid, meta, pet cirkonij dioksid kisik HuaEr niobij meta meta, meta, titan dioksid, cirkonij dioksid, hafnij meta, meta, titan diborid diborid cirkonij meta, volfram trioksid meta, aluminij trioksid meta tantal pentaoksid, niobij pentaoksid meta, magnezij fluorid meta, itrij fluorid meta, cink selenid meta, aluminij nitrid meta , cilj silicijev nitrid, bor cilj nitrida, cilj titan nitrida, cilj silicij karbida, cilj litij niobata, cilj praseodimij titanata, cilj barij titanata, cilj lantan titanata, cilj nikal oksida, cilj raspršivanja itd.