1、 Priprema za raspršivanje
Vrlo je važno održavati vakuumsku komoru, posebno sustav raspršivanja čistim. Svi ostaci koji nastanu od ulja za podmazivanje, prašine i prethodnog premaza skupit će vodenu paru i druge zagađivače, što će izravno utjecati na stupanj vakuuma i povećati mogućnost kvara na stvaranju filma. Kratki spoj ili iskrenje mete, hrapava površina filma i prekomjerni sadržaj kemijskih nečistoća često su uzrokovani nečistom komorom za raspršivanje, pištoljem za raspršivanje i metom. Kako bi se pridržavale karakteristike sastava premaza, potrebno je očistiti i osušiti plin za raspršivanje (argon ili kisik). Nakon što je supstrat ugrađen u komoru za raspršivanje, potrebno je izvući zrak kako bi se postigao vakuum potreban za proces. Zaštitni poklopac u tamnom području, zid šupljine i susjedne površine također moraju biti čisti. Prilikom čišćenja vakuumske komore, preporučamo korištenje pjeskarenja staklenom kuglom za tretiranje prašnjavih dijelova, zajedno s komprimiranim zrakom kako bismo uklonili rane ostatke prskanja oko komore, a zatim tiho polirajte vanjsku površinu brusnim papirom impregniranim aluminijevim oksidom. Nakon poliranja gaza papir se čisti alkoholom, acetonom i deioniziranom vodom. Zajedno, zagovara korištenje industrijskog usisavača za pomoćno čišćenje. Mete koje proizvodi Gaozhan metal pakiraju se u vakuumski zatvorene plastične vrećice,
Ugrađeno sredstvo za zaštitu od vlage. Kada koristite metu, nemojte je dodirivati izravno rukom. Napomena: kada koristite metu, nosite čiste rukavice za održavanje koje ne ostavljaju dlačice. Nikada ne dodirujte metu izravno rukama
2、 Čišćenje mete
Svrha čišćenja mete je uklanjanje prašine ili prljavštine koja može postojati na površini mete.
Metalna meta se može očistiti u četiri koraka,
Prvi korak je čišćenje mekom krpom koja ne ostavlja dlačice namočenom u aceton;
Drugi korak je sličan prvom koraku, čišćenje alkoholom;
Korak 3: očistite deioniziranom vodom. Nakon pranja deioniziranom vodom, stavite metu u pećnicu i sušite je na 100 ℃ 30 minuta.
Čišćenje oksidnih i keramičkih meta mora se izvesti "krpom koja ne ostavlja dlačice".
Četvrti korak je ispiranje mete argonom s visokim tlakom i niskim vodenim plinom nakon uklanjanja prašnjavog područja, kako bi se uklonile sve čestice nečistoće koje mogu stvoriti luk u sustavu raspršivanja
3、 Ciljni uređaj
U procesu postavljanja mete, važne mjere opreza su osigurati dobru vezu toplinske vodljivosti između mete i rashladne stijenke pištolja za raspršivanje. Ako je savijanje rashladne grede jako ili je savijanje stražnje ploče jako, ciljni uređaj će puknuti ili se savijati, a toplinska vodljivost od stražnjeg cilja do cilja će biti uvelike pogođena, što će rezultirati neuspjehom rasipanja topline u procesu prskanja, a meta će puknuti ili promašiti
Kako bi se osigurala toplinska vodljivost, sloj grafitnog papira može se postaviti između stijenke za hlađenje katode i mete. Pažljivo provjerite i razjasnite ravnost rashladne stijenke pištolja za raspršivanje kako biste bili sigurni da je O-prsten uvijek na mjestu.
Budući da će se čistoća korištene vode za hlađenje i prašina koja se može pojaviti tijekom rada opreme taložiti u spremniku vode za hlađenje katode, potrebno je provjeriti i očistiti spremnik vode za hlađenje katode prilikom postavljanja mete kako bi se osiguralo glatko cirkulaciju rashladne vode i da ulaz i izlaz neće biti blokirani.
Neke katode su predviđene tako da imaju mali prostor s anodom, pa je prilikom ugradnje mete potrebno paziti da između katode i anode nema dodira ili vodiča, inače će doći do kratkog spoja.
Pogledajte priručnik za rukovatelja opremom za informacije o tome kako ispravno rukovati metom. Ako u korisničkom priručniku nema takvih informacija, pokušajte instalirati uređaj u skladu s relevantnim prijedlozima koje daje Gaozhan metal. Prilikom zatezanja ciljnog učvršćenja, prvo ručno zategnite jedan vijak, a zatim rukom zategnite drugi vijak na dijagonali. Ponavljajte ovo dok se svi vijci na uređaju ne zategnu, a zatim nečim zategnite.
4、 Provjera kratkog spoja i nepropusnosti
Nakon završetka ciljnog uređaja potrebno je provjeriti kratki spoj i nepropusnost cijele katode,
Predlaže se utvrditi postoji li kratki spoj u katodi pomoću mjerača otpora
Diskriminacija redaka. Nakon potvrde da nema kratkog spoja na katodi, može se provesti detekcija curenja i voda se može unijeti u katodu kako bi se potvrdilo postoji li curenje vode.
5、 Ciljano prethodno raspršivanje
Prethodno raspršivanje mete zagovara raspršivanje čistim argonom, koje može očistiti površinu mete. Kada je meta prethodno raspršena, preporučuje se polagano povećanje snage raspršivanja, a stopa povećanja snage keramičke mete je 1,5 WH / cm2. Brzina prethodnog raspršivanja metalne mete može biti veća od brzine keramičkog bloka mete, a razumna stopa povećanja snage je 1,5 WH / cm2.
U procesu prethodnog raspršivanja, moramo provjeriti zakrivljenost mete. Vrijeme prethodnog raspršivanja općenito je oko 10 minuta. Ako nema fenomena luka, kontinuirano povećavajte snagu prskanja
Na postavljenu snagu. Prema iskustvu, prihvatljiva je Z visoka snaga raspršivanja metalne mete
25 vata / cm2, 10 vata / cm2 za keramičku metu. Molimo pogledajte osnove postavki i iskustva s tlakom u vakuumskoj komori tijekom raspršivanja u korisničkom priručniku za rad sustava. Općenito, treba osigurati da temperatura vode na izlazu rashladne vode bude niža od 35 ℃, ali Z važno je osigurati da cirkulacijski sustav rashladne vode može učinkovito raditi
Brza cirkulacija superhlađene vode oduzima toplinu, što je važno jamstvo za osiguranje kontinuiranog raspršivanja s velikom snagom. Za metalne mete općenito se preporučuje da je protok vode za hlađenje
Tlak vode od 20 lpm je oko 5 gmp; Za keramičke mete općenito se preporučuje da protok vode bude 30 l/min, a pritisak vode oko 9 gmp
6、 Ciljano održavanje
Kako bi se spriječio kratki spoj i stvaranje luka uzrokovano nečistom šupljinom u procesu raspršivanja, potrebno je ukloniti raspršivač nakupljen u sredini i s obje strane staze za prskanje u fazama,
Ovo također pomaže korisnicima da kontinuirano prskaju pri z visokoj gustoći snage
7、 Ciljana pohrana
Mete koje isporučuje Gaozhan metal pakirane su u dvoslojne vakuumirane plastične vrećice. Zalažemo se da korisnici drže mete, bilo metalne ili keramičke, u vakumiranoj ambalaži. Konkretno, mete za spajanje moraju biti pohranjene pod vakuumom kako bi se spriječilo da oksidacija veznog sloja utječe na kvalitetu lijepljenja. Što se tiče pakiranja metalnih meta, zalažemo se da Z bude pakiran u čiste plastične vrećice.
Vrijeme objave: 13. svibnja 2022