Meta ima mnoge funkcije i široku primjenu u mnogim područjima. Nova oprema za prskanje gotovo koristi snažne magnete za spiralu elektrona kako bi se ubrzala ionizacija argona oko mete, što povećava vjerojatnost sudara između mete i iona argona,
Povećajte brzinu prskanja. Općenito, DC raspršivanje se koristi za oblaganje metala, dok se RF komunikacijsko raspršivanje koristi za nevodljive keramičke magnetske materijale. Osnovno načelo je korištenje tinjajućeg pražnjenja za udaranje iona argona (AR) na površini mete u vakuumu, a kationi u plazmi će se ubrzati i pojuriti na površinu negativne elektrode kao poprskani materijal. Ovaj će udar učiniti da materijal mete izleti i taloži se na podlogu kako bi se stvorio film.
Općenito, postoji nekoliko značajki premazivanja filmom pomoću procesa prskanja:
(1) Metal, legura ili izolator mogu se preraditi u podatke tankog filma.
(2) Pod odgovarajućim uvjetima postavljanja, film s istim sastavom može se napraviti od višestrukih i neuređenih ciljeva.
(3) Mješavina ili spoj ciljnog materijala i molekula plina može se napraviti dodavanjem kisika ili drugih aktivnih plinova u atmosferi pražnjenja.
(4) Ciljana ulazna struja i vrijeme raspršivanja mogu se kontrolirati, a lako je dobiti vrlo preciznu debljinu filma.
(5) To je korisno za proizvodnju drugih filmova.
(6) Raspršene čestice teško su pod utjecajem gravitacije, a meta i podloga mogu se slobodno organizirati.
Vrijeme objave: 24. svibnja 2022