Široka uporaba ciljnog materijala u raznim profesijama čini potražnju za ciljnim materijalom sve većom i većom. Sljedeće mi ćemo ukratko predstaviti vas koji su primarni funkcionalni zahtjevi cilja, hoping da ti pomognem.
Čistoća: Čistoća je jedan od primarnih funkcionalnih pokazatelja mete, jer čistoća mete ima veliki utjecaj na funkciju filma. Ali u praksi, čistoća ciljanog materijala nije ista. Na primjer, s brzim rastom profesije mikroelektronike, veličina silicijske pločice se razvila sa 6”, 8” na 12”, a širina ožičenja smanjila se s 0,5 um na 0,25 um, 0,18 um pa čak i 0,13 um. Nakon što 99,995% ciljne čistoće može zadovoljiti tehnološke zahtjeve od 0,35UMIC. Priprema linije od 0,18 um zahtijeva 99,999% ili čak 99,9999% čistoću ciljnog materijala.
Gustoća: Kako bi se smanjila poroznost u ciljnoj krutini i poboljšala funkcija prskajućeg filma, cilj obično mora imati visoku gustoću. Ciljana gustoća ne utječe samo na brzinu raspršivanja već i na električna i optička svojstva filmova. Što je veća ciljna gustoća, bolja je funkcija filma. Osim toga, gustoća i čvrstoća ciljanog materijala su povećane kako bi mogao bolje izdržati toplinski stres tijekom raspršivanja. Gustoća je također jedan od važnih funkcionalnih pokazatelja ciljnih tvari.
Sadržaj nečistoća: nečistoće u ciljnoj krutini te kisik i vodena para u porama primarni su izvori onečišćenja akumuliranih filmova. Različiti ciljni materijali za različite namjene imaju različite zahtjeve za različitim sadržajem nečistoća. Na primjer, mete od čistog aluminija i aluminijskih legura koje se koriste u industriji poluvodiča imaju posebne zahtjeve za sadržaj alkalnih metala i radioaktivnih elemenata.
Vrijeme objave: 6. lipnja 2022