Materijali za raspršene mete imaju visoke zahtjeve tijekom upotrebe, ne samo za čistoću i veličinu čestica, već i za ujednačenu veličinu čestica. Ovi visoki zahtjevi tjeraju nas da obratimo više pozornosti kada koristimo materijale za mete za raspršivanje.
1. Priprema za raspršivanje
Vrlo je važno održavati čistoću vakuumske komore, posebno sustava raspršivanja. Maziva, prašina i svi ostaci od prethodnih premaza mogu akumulirati zagađivače poput vode, izravno utječući na vakuum i povećavajući vjerojatnost neuspjeha stvaranja filma. Kratki spojevi, iskrenje meta, grube površine koje stvaraju film i prekomjerne kemijske nečistoće obično su uzrokovane nečistim komorama za raspršivanje, pištoljima i metama.
Kako bi se zadržale karakteristike sastava premaza, plin za prskanje (argon ili kisik) mora biti čist i suh. Nakon ugradnje supstrata u komoru za raspršivanje potrebno je izvući zrak kako bi se postigla potrebna razina vakuuma za proces.
2. Čišćenje mete
Svrha čišćenja mete je uklanjanje prašine ili prljavštine koja može postojati na površini mete.
3. Ciljna instalacija
Najvažnija stvar na koju treba obratiti pozornost tijekom postupka ugradnje materijala mete je osigurati dobru toplinsku vezu između materijala mete i rashladne stijenke pištolja za raspršivanje. Ako je rashladna stijenka ili stražnja ploča jako iskrivljena, može doći do pucanja ili savijanja tijekom postavljanja ciljnog materijala. Prijenos topline sa stražnje mete na ciljni materijal bit će uvelike pogođen, što će rezultirati nemogućnošću rasipanja topline tijekom raspršivanja, što će u konačnici dovesti do pucanja ili odstupanja ciljanog materijala.
4. Pregled kratkog spoja i brtvljenja
Nakon ugradnje materijala mete potrebno je provjeriti kratki spoj i nepropusnost cijele katode. Preporuča se koristiti ohmmetar i megohmmetar kako bi se utvrdilo je li katoda u kratkom spoju. Nakon potvrde da katoda nije u kratkom spoju, može se provesti detekcija curenja ubrizgavanjem vode u katodu kako bi se utvrdilo ima li curenja.
5. Prethodno raspršivanje ciljanog materijala
Preporuča se korištenje čistog plina argona za prethodno raspršivanje materijala mete, koji može očistiti površinu materijala mete. Preporuča se polako povećavati snagu raspršivanja tijekom procesa prethodnog raspršivanja ciljanog materijala. Snaga keramičkog ciljanog materijala
Vrijeme objave: 19. listopada 2023