Zbog visoke temperaturne stabilnosti, visoke otpornosti na migraciju elektrona i visokog koeficijenta emisije elektrona vatrostalnog volframa i volframovih legura, mete visoke čistoće od volframa i volframovih legura uglavnom se koriste za proizvodnju gejt elektroda, spojnih žica, slojeva difuzijske barijere, itd. poluvodiča integrirani krugovi i imaju visoke zahtjeve za čistoću, sadržaj nečistoća, gustoća, veličina zrna i jednolikost strukture zrna materijala. Sada pogledajmo čimbenike koji utječu na pripremu volframove mete visoke čistoće.
1、 Učinak temperature sinteriranja
Proces formiranja embrija volframove mete općenito se izvodi hladnim izostatičkim prešanjem. Zrno volframa će rasti tijekom procesa sinteriranja. Rast volframovog zrna ispunit će prazninu između granica zrna, čime se poboljšava gustoća volframovog cilja. S povećanjem vremena sinteriranja, povećanje gustoće volframove mete postupno se usporava. Glavni razlog je taj što se nakon višestrukog sinteriranja kvaliteta volframove mete nije mnogo promijenila. Budući da je većina šupljina na granicama zrna ispunjena kristalima volframa, nakon svakog sinteriranja, ukupna stopa promjene veličine volframove mete bila je vrlo mala, što je rezultiralo ograničenim prostorom za povećanje gustoće volframove mete. Procesom sinteriranja, izrasla zrna volframa popunjavaju se u šupljine, što rezultira većom gustoćom mete s manjom veličinom čestica.
2、 Učinak vremena zadržavanja
Pri istoj temperaturi sinteriranja, kompaktnost volframove mete će se poboljšati s produljenjem vremena zadržavanja sinteriranja. S produljenjem vremena držanja, veličina zrna volframa će se povećati, a s produljenjem vremena zadržavanja, vremena rasta veličine zrna postupno će se usporiti, što znači da povećanje vremena zadržavanja također može poboljšati performanse volframova meta.
3、 Učinak kotrljanja na svojstva cilja
Kako bi se poboljšala gustoća volframovog ciljnog materijala i dobila obradna struktura volframovog ciljnog materijala, srednje temperaturno valjanje volframovog ciljnog materijala mora se izvesti ispod temperature rekristalizacije. Ako je temperatura valjanja ciljane gredice visoka, vlaknasta struktura ciljane gredice će biti gruba, i obrnuto. Kada stopa toplog valjanja dosegne više od 95%. Iako će razlika u strukturi vlakana uzrokovana različitim izvornim zrnima ili različitim temperaturama valjanja biti eliminirana, unutarnja struktura mete će tvoriti relativno ujednačenu strukturu vlakana, tako da što je veća stopa obrade toplog valjanja, to je bolja izvedba mete.
Vrijeme objave: 15. veljače 2023