Cilj ima mnogo učinaka, a prostor za razvoj tržišta je velik. Vrlo je koristan u mnogim poljima. Gotovo sva nova oprema za raspršivanje koristi snažne magnete za spiralne elektrone kako bi se ubrzala ionizacija argona oko mete, što rezultira povećanjem vjerojatnosti sudara između mete i iona argona. Sada pogledajmo ulogu mete za prskanje u vakuumskom premazu.
Poboljšajte brzinu prskanja. Općenito, DC raspršivanje se koristi za oblaganje metala, dok se RF AC raspršivanje koristi za nevodljive keramičke magnetske materijale. Temeljno načelo je korištenje tinjajućeg pražnjenja za udaranje iona argona (AR) na površini mete u vakuumu, a kationi u plazmi će ubrzati da pojure na površinu negativne elektrode kao poprskani materijal. Ovaj će udar učiniti da materijal mete izleti i taloži se na podlogu kako bi se stvorio film.
Općenito govoreći, postoji nekoliko karakteristika filmskog premaza postupkom prskanja: (1) metal, legura ili izolator mogu se pretvoriti u filmske podatke.
(2) Pod odgovarajućim uvjetima postavljanja, film s istim sastavom može se napraviti od višestrukih i neuređenih ciljeva.
(3) Mješavina ili spoj ciljnog materijala i molekula plina može se proizvesti dodavanjem kisika ili drugih aktivnih plinova u atmosferi pražnjenja.
(4) Ciljana ulazna struja i vrijeme raspršivanja mogu se kontrolirati, a lako je dobiti vrlo preciznu debljinu filma.
(5) U usporedbi s drugim procesima, pogoduje proizvodnji jednolikih filmova velike površine.
(6) Na raspršene čestice gravitacija gotovo ne utječe, a položaji mete i supstrata mogu se slobodno rasporediti.
Vrijeme objave: 17. svibnja 2022