Svi znamo da je raspršivanje jedna od glavnih tehnologija za pripremu filmskih materijala. Koristi ione proizvedene iz izvora iona za ubrzavanje agregacije u vakuumu kako bi se stvorio ionski snop velike brzine, bombardirao krutu površinu, a ioni izmjenjuju kinetičku energiju s atomima na krutoj površini, tako da atomi na krutoj površini površinu ostaviti krutinu i taložiti na površini podloge. Bombardirana krutina je sirovina za taloženje filma raspršivanjem, što se naziva meta za raspršivanje.
Različite vrste raspršenih filmskih materijala naširoko su korištene u poluvodičkim integriranim krugovima, medijima za snimanje, planarnim zaslonima, površinskim premazima alata i kalupa itd.
Mete za prskanje se uglavnom koriste u elektroničkoj i informacijskoj industriji, kao što su integrirani krugovi, pohrana informacija, zasloni s tekućim kristalima, laserske memorije, elektronička upravljačka oprema itd.; Također se može koristiti u području premazivanja stakla; Također se može koristiti u materijalima otpornim na habanje, visokotemperaturnoj otpornosti na koroziju, vrhunskim dekorativnim proizvodima i drugim industrijama.
Postoji mnogo vrsta meta za raspršivanje, a postoje i različite metode za klasifikaciju meta:
Prema sastavu, može se podijeliti na metalnu metu, metu od legure i metu od keramičkih spojeva.
Prema obliku, može se podijeliti na dugu metu, četvrtastu metu i okruglu metu.
Može se podijeliti na mikroelektroničku metu, metu magnetskog snimanja, metu optičkog diska, metu plemenitog metala, metu otpornosti filma, metu vodljivog filma, metu modifikacije površine, metu maske, metu dekorativnog sloja, metu elektrode i druge mete prema polju primjene.
Prema različitim primjenama, može se podijeliti na poluvodičke keramičke mete, srednje keramičke mete za snimanje, keramičke mete za prikaz, supravodljive keramičke mete i keramičke mete golemog magnetootpora.
Vrijeme objave: 29. srpnja 2022