Posljednjih godina, s napretkom tehnologije integriranih krugova (IC), povezane primjene integriranih krugova brzo su se razvile. Meta za raspršivanje od aluminijske legure ultra visoke čistoće, kao pomoćni materijal u proizvodnji metalnih interkonekcija integriranih krugova, postala je vruća tema u novijim domaćim istraživanjima. urednik RSM-a pokazat će nam karakteristike mete za raspršivanje od aluminijske legure visoke čistoće.
Kako bi se dodatno poboljšala učinkovitost raspršivanja magnetronske mete za raspršivanje i osigurala kvaliteta nanesenih filmova, veliki broj eksperimenata pokazuje da postoje određeni zahtjevi za sastav, mikrostrukturu i orijentaciju zrna mete za raspršivanje ultra-visoke čistoće od aluminijske legure.
Veličina zrna i orijentacija zrna mete imaju velik utjecaj na pripremu i svojstva IC filmova. Rezultati pokazuju da se brzina taloženja smanjuje s povećanjem veličine zrna; Za metu za raspršivanje s istim sastavom, brzina raspršivanja mete s malom veličinom zrna je brža od one mete s velikom veličinom zrna; Što je ujednačenija veličina zrna mete, to je ujednačenija raspodjela debljine nanesenih filmova.
Pod istim instrumentom za raspršivanje i parametrima procesa, brzina raspršivanja mete od Al Cu legure raste s povećanjem atomske gustoće, ali je općenito stabilna u određenom rasponu. Učinak veličine zrna na brzinu raspršivanja posljedica je promjene atomske gustoće s promjenom veličine zrna; Na brzinu taloženja uglavnom utječe orijentacija zrna ciljne legure Al Cu. Na temelju osiguravanja udjela (200) kristalnih ravnina, povećanje udjela (111), (220) i (311) kristalnih ravnina će povećati brzinu taloženja.
Veličina zrna i orijentacija zrna meta od aluminijske legure ultravisoke čistoće uglavnom se podešavaju i kontroliraju homogenizacijom ingota, vrućom obradom i rekristalizacijskim žarenjem. S razvojem veličine vafera na 20,32 cm (8 inča) i 30,48 cm (12 inča), veličina mete se također povećava, što postavlja veće zahtjeve za mete za prskanje ultra-visoke čistoće od aluminijske legure. Kako bi se osigurala kvaliteta filma i prinos, ciljani parametri obrade moraju biti strogo kontrolirani kako bi ciljna mikrostruktura bila ujednačena, a orijentacija zrna mora imati jake (200) i (220) ravne teksture.
Vrijeme objave: 30. lipnja 2022